产品详情
SuperViewW1白光干涉仪三维轮廓仪具有测量精度高、操作便捷、功能齐全、测量参数涵盖面广的优点,测量单个精细器件的过程用时2分钟以内,确保了高款率检测。白光干涉仪的特殊光源模式,可以广泛适用于从光滑到粗糙等各种精细器件表面的测量。
(1)SuperViewW1白光干涉仪三维轮廓仪设备提供表征微观形貌的粗糙度和台阶高、角度等轮廓尺寸测量功能;
(2)测量中提供自动对焦、自动找条纹、自动调亮度等自动化辅助功能;
(3)测量中提供自动拼接测量、定位自动多区域测量功能;
(4)分析中提供校平、图像修描、去噪和滤波、区域提取等四大模块的数据处理功能;
(5)分析中提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能;
(6)分析中同时提供一键分析和多文件分析等辅助分析功能。
对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。
应用范例:
型号 | W1 | |
光源 | 白光LED | |
影像系统 | 1024×1024 | |
干涉物镜 | 标配:10× 选配:2.5×、5×、20×、50×、100× | |
光学ZOOM | 标配:0.5× 选配:0.375×、0.75×、1× | |
标准视场 | 0.98×0.98㎜(10×物镜,光学ZOOM 0.5×) | |
XY位移平台 | 尺寸 | 320×200㎜ |
移动范围 | 140×100㎜ | |
负载 | 10kg | |
控制方式 | 电动 | |
Z轴聚焦 | 行程 | 100㎜ |
控制方式 | 电动 | |
台阶测量 | ||
可测样品反射率 | 0.05%~100% | |
主机尺寸 | 700×606×920㎜ |
如有疑问或需要更多详细信息,请随时联系中图仪器咨询。
1、高精度、高重复性
1)采用光学干涉技术、精密Z向扫描模块和优异的3D重建算法组成测量系统,保证测量精度高;
2)隔振系统能够有效隔离频率2Hz以上绝大部分振动,消除地面振动噪声和空气中声波振动噪声,保障仪器在大部分的生产车间环境中能稳定使用,获得高测量重复性;
2、环境噪声检测功能
具备0.1nm分辨率的环境噪声检测模块,能够定量评估出外界环境对仪器扫描轴的震动干扰,在设备调试、日常监测、故障排查中能够提供定量的环境噪声数据作为支撑。
3、精密操纵手柄
集成X、Y、Z三个方向位移调整功能的操纵手柄,可快速完成载物台平移、Z向聚焦、找条纹等测量前工作。
4、双重防撞保护措施
在初级的软件ZSTOP设置Z向位移下限位进行防撞保护外,另在Z轴上设计有机械电子传感器,当镜头触碰到样品表面时,仪器自动进入紧急停止状态,最大限度的保护仪器,降低人为操作风险。
5、双通道气浮隔振系统
既可以接入客户现场的稳定气源也可以接入标配空压机,在无外接气源的条件下也可稳定工作。
SuperViewW1白光干涉仪三维轮廓仪局部位移精度可达亚微米级别,可测非常微小尺寸的器件;测量大尺寸样品时支持拼接功能,将测量的每一个小区域整合拼接成完整的图像,拼接精度在横向上和载物台横向位移精度一致。
法兰柱塞阀 迈测激光测距传感器 DNC多功能电能表现场校验仪 FP-07型电流发生器 管道视频内窥镜 ZFD-1000系列无线测温系统 小长图有纸记录仪 电流测试仪 步入式低温试验箱 在线气体组分及气溶胶监测系统 高温可燃气体检测仪 风力发电风速仪 上海舜宇恒平 光电式污泥浓度计 检测与传感技术实验教程 电阻式触控 ZYT-0100激光测距传感器 YRT型熔点仪 密封式化验制样粉碎机 气体检测报警器 热老化箱 全自动BOD自动分析仪 MV5400系列电动调节阀 BL-FO磁性翻柱液位计 维和时代GP140手持金属探测器 2.5D影像测量仪 一种阵列天线弧形扫描的毫米波成像系统 语音电子秤 TDS水质检测笔 直流电能表GSM-DE 接地电阻仪 富莱克2750 GSD941W双水冷式超高温蝶阀 MTB称重传感器 光开关 频率电压变换器 开启式电流互感器 标准互感器 制冷量试验台 手持式数字存储双通道彩色液晶示波器 YZO振动电机 GNL-B3氧量分析仪 双电源 红外体表测温 CQF型塑料磁力泵 ANEN-SAS50电源连接器 DYCP-32A型琼脂糖水平电泳仪 精密水准测量 应力仪 X射线衍射面探测仪系统