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中图仪器3d轮廓扫描仪是以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，从而实现器件表面形貌3D测量的光学检测仪器。主要用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量。
中图仪器3d轮廓扫描仪通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析，并获取反映器件表面质量的2D、3D参数，其分辨率可达0.1nm。双通道气浮隔振系统设计，既可以接入客户现场的稳定气源也可以采用便携加压装置直接加压充气，在无外接气源的条件下也可稳定工作，可以有效隔绝地面传导的振动，同时内部隔振系统能够有效隔绝声波振动，确保仪器在车间也能正常工作。
1）设备提供表征微观形貌的粗糙度和台阶高、角度等轮廓尺寸测量功能；
2）测量中提供自动对焦、自动找条纹、自动调亮度等自动化辅助功能；
3）测量中提供自动拼接测量、定位自动多区域测量功能；
4）分析中提供校平、图像修描、去噪和滤波、区域提取等四大模块的数据处理功能；
5）分析中提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能；
6）分析中同时提供一键分析和多文件分析等辅助分析功能。
在3C领域，可以测量蓝宝石屏、滤光片、表壳等表面粗糙度；
在LED行业，可以测量蓝宝石、碳化硅衬底表面粗糙度；
在光纤通信行业，可以测量光纤端面缺陷和粗糙度；
在集成电路行业，可以测量硅晶片或陶瓷晶片表面粗糙度；
在EMES行业，可以测量台阶高度和表面粗糙度；
在军事领域，可以测量蓝宝石观察窗口表面粗糙度。
