东京精密ZEISS PRISMO三坐标测试仪

东京精密ZEISS PRISMO三坐标测试仪

东京精密ZEISS PRISMO三坐标测试仪

三坐标测试仪,表面粗糙度轮廓测定仪，圆桶形状测定机，光学测定机器，X线CT装置，高精度数显测长器

实现高精度。ZEISS PRISMO® 系列三坐标测试仪

为了满足高精度零件的研究开发和基准量规的校正检查等要求高精度的测量而诞生的三维坐标测量机

特点：

精度

通过搭载超高分辨率标尺、最小化温度变化对测定结果的影响的各种技术，E0MPE=0.5+L/500μ实现了m的高精度。

素材Zerodur®的超高分辨率刻度

ZEISS PRISMO®系列分辨率0.02μm标尺搭载在各轴上。而且，在水垢材料中，热膨胀系数非常小®（零杜尔），将环境温度变化对精度的影响抑制到最小限度。

实现高精度的进化CAA修正技术

采用FineCAA，将导轨的笔直度误差细分为64个格子进行修正。并且，通过在校正时改变测量功率多次探测同一部位，求出光笔和校正球的弯曲程度的“张量校正”，从测量结果中去除弯曲误差，实现了高精度测量。

高精度

搭载了实现高精度、高速扫描测量的有源扫描传感器VAST XT gold

通过利用空气轴承从4个方向引导支承，防止驱动时的扭转

不受温度变化引起的导轨伸缩影响的独自的浮动标尺保持方式

高通用性

通过“质量技术”，无论接触还是非接触，都可以搭载各种各样的传感器

在旋转工作台上高精度有效地测量复杂形状工件（可选）

高耐环境性

保护测量机免受污垢、损伤、温度变化的影响的设计

使用温度变化影响极少的材质Y轴左侧有碳材料ThermoFit®采用·规模Zerodur®的测量系统（热膨胀系数约为钢的1/230）