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产品详情
光学粗糙度测量仪特点
1、 高精度、高重复性
采用光学干涉技术、精密Z向扫描模块和优异的3D重建算法组成测量系统，保证测量精度高；
产品的隔振系统，能够有效隔离频率2Hz以上绝大部分振动，消除地面振动噪声和空气中声波振动噪声，保障仪器在大部分的生产车间环境中能稳定使用；
2、 一体化操作的测量分析软件
测量与分析同界面操作，无须切换，测量数据自动统计，实现了快速批量测量的功能；
可视化窗口，便于用户实时观察扫描过程；
结合自定义分析模板的自动化测量功能，可自动完成多区域的测量与分析过程；
几何分析、粗糙度分析、结构分析、频率分析、功能分析五大功能模块齐全；
一键分析、多文件分析，自由组合分析项保存为分析模板，批量样品一键分析，并提供数据分析与统计图表功能；
可测依据ISO/ASME/EUR/GBT等标准的多达300余种2D、3D参数。
3、 精密操纵手柄
集成X、Y、Z三个方向位移调整功能的操纵手柄，可快速完成载物台平移、Z向聚焦、找条纹等测量前工作。
4、 双通道气浮隔振系统
既可以接入客户现场的稳定气源也可以采用便携加压装置直接加压充气的双通道气浮隔振系统，在无外接气源的条件下也可稳定工作。
光学粗糙度测量仪技术参数
光源 | 白光LED | |
影像系统 | 1024×1024 | |
干涉物镜 | 2.5×，5×，10×，20×，50× | |
光学ZOOM | 0.5×，0.75×，1× | |
标准视场 | 0.49×0.49㎜ | |
最大视场 | 6×6㎜ | |
物镜塔台 | 3孔手动 | |
XY位移平台 | 尺寸 | 320×200㎜ |
移动范围 | 140×100㎜ | |
负载 | 10kg | |
控制方式 | 电动 | |
水平调整 | ±4.5°手动 | |
控制方式 | 电动 | |
Z向扫描范围 | 10 ㎜ | |
Z向分辨率 | 0.1nm | |
可测样品反射率 | 0.5%~99% | |
产品应用范围
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