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非接触粗糙度测量仪对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。
1) 一体化操作的测量与分析软件,操作无须进行切换界面,预先设置好配置参数再进行测量,软件自动统计测量数据并提供数据报表导出功能,即可快速实现批量测量功能。
2) 测量中提供自动多区域测量功能、批量测量、自动聚焦、自动调亮度等自动化功能。
3) 测量中提供拼接测量功能。
4) 分析中提供调整位置、纠正、滤波、提取四大模块的数据处理功能,其中调整位置包括图像校平、镜像等功能;纠正包括空间滤波、修描、尖峰去噪等功能;滤波包括去除外形、标准滤波、过滤频谱等功能;提取包括提取区域和提取剖面等功能。
5) 分析中提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能,其中粗糙度分析包括依据国际标准的ISO4287的线粗糙度、ISO25178面粗糙度、ISO12781平整度等全参数分析功能;几何轮廓分析包括台阶高、距离、角度、曲率等特征测量和直线度、圆度形位公差评定等功能;结构分析包括孔洞体积和波谷深度等;频率分析包括纹理方向和频谱分析等功能;功能分析包括SK参数和体积参数等功能。
6) 分析中同时提供一键分析和多文件分析等辅助分析功能,设置分析模板,结合测量中提供的自动测量和批量测量功能,可实现对小尺寸精密器件的批量测量并直接获取分析数据的功能。
非接触粗糙度测量仪
1.技术参数
光源 | 白光LED | |
干涉物镜 | 2.5×,5×,10×,20×,50× | |
光学ZOOM | 0.5×,0.75×,1× | |
标准视场 | 0.49×0.49㎜ | |
最大视场 | 6×6㎜ | |
物镜塔台 | 3孔手动 | |
XY位移平台 | 尺寸 | 320×200㎜ 320×320㎜ |
水平调整 | ±4.5°手动 | |
Z向扫描范围 | 10 ㎜ | |
Z向分辨率 | 0.1nm | |
可测样品反射率 | 0.5%~99% |
2.仪器尺寸(长×宽×高): 主机:900×700×604㎜;
3.仪器主机重量:小于150Kg;
4.使用环境:无强磁场,无腐蚀气体
工作温度:15℃ ~30℃,温度梯度 < 1℃/15分钟
相对湿度:5%-95%RH,无凝露
环境振动:VC-C或更优
隔振气源:0.6Mpa稳压清洁气源,除油、除水,气管直径6㎜
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