W1PRO-白光干涉仪测量粗糙度

白光干涉仪测量粗糙度可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及科研院所等领域中。可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等，提供依据ISO/ASME/EUR/GBT四大国内外标准共计300余种2D、3D参数作为评价标准。

白光干涉仪测量粗糙度标准配置

1）SuperView W2主机

2）影像系统：1024×1024；

3）光学Zoom：1×；

4）XY位移载物台：自动位移台；

5）物镜转盘：3孔手动

5）品牌计算机；

6）校准模块；

7）操纵手柄；

8） 3D表面轮廓仪软件一套；

9）电气控制柜；

10）仪器配件箱；

11）便携加压充气装置一套；

12）产品使用说明书；

13）产品合格证、保修卡；

可选配置：

1） 干涉物镜：2.5×、5×、10×、20×、50×、100×

2） 自动光学变倍目镜： 0.5×、1×、2×

3） 真空吸附台(半导体晶圆片专用)：6寸、8寸、12寸

4） 自动测量拼接测量功能模块（须硬件支持）

5） 物镜转盘：5孔电动

产品售后技术服务：

1、 设备质保期

1）验收合格双方签定《产品验收报告》后12个月内；

2）在质保期内发生的故障，其故障部分质保期自修复之日起顺延。

2、 售后服务内容

1）质保期内：实行“三包”，用户所购设备各部件发生非人为故障，我司免费更换同种品牌不低于原价位、规格、型号的部件。

2）质保期后：我公司提供持续的优惠服务和技术支持，设备出现故障需要修理时，所换零件按成本价收取。软件随国家规程变更免费升级，硬件优惠升级。

3）排故响应时间：我司在接到报障信息后，2小时内回应，我司通过电话、邮件的方式指导买方排除故障；若故障仍不能排除，将在72小时内上门调试维修排故或用户将仪器发回本公司维修。

产品应用范围