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产品详情

3d轮廓测量仪器可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及科研院所等领域中。可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等，提供依据ISO/ASME/EUR/GBT四大国内外标准共计300余种2D、3D参数作为评价标准。

标准配置

1）SuperView W2主机

2）影像系统：1024×1024；

3）光学Zoom：1×；

4）XY位移载物台：自动位移台；

5）物镜转盘：3孔手动

5）品牌计算机；

6）校准模块；

7）操纵手柄；

8） 3D表面轮廓仪软件一套；

9）电气控制柜；

10）仪器配件箱；

11）便携加压充气装置一套；

12）产品使用说明书；

13）产品合格证、保修卡；

可选配置：

1）干涉物镜：2.5×、5×、10×、20×、50×、100×

2）自动光学变倍目镜： 0.5×、1×、2×

3）真空吸附台(半导体晶圆片专用)：6寸、8寸、12寸

4）自动测量拼接测量功能模块（须硬件支持）

5）物镜转盘：5孔电动

3d轮廓测量仪器轮廓参数表

标准名	参数
ISO 4287-1997		主剖面	粗糙度	波纹度
	振幅参数	Pp, Pv ,Pz, Pc, Pt,Pa,Pq,Psk,Pku	Rp, Rv ,Rz, Rc, Rt,Ra,Rq,Rsk,Rku	Wp, Wv ,Wz, Wc, Wt,Wa,Wq,Wsk,Wku
	间距参数	PSm,Pdq	RSm,Rdq	WSm,Wdq
	物料比参数	Pmr,Pdc	Rmr,Rdc,Rmr(Rz/4)	Wmr,Wdc,Wmr(Wz/4)
	峰值参数	PPc	RPc	WPc
ISO 13565	ISO 13565-2	Rk,Rpk,Rvk,Mr1,Mr2,A1,A2,Rpk,Rvk
ISO 12085	粗糙度图形参数	R,AR,R× ,Nr
	波纹度图形参数	W,AW,W×,Wte
	其他图形参数	Rke,Rpke,Rvke
AMSE B46.1	2D参数	Rt,Rp,Rv,Rz,Rpm,Rma×,Ra,Rq,Rsk,Rku,tp,Htp,Pc,Rda,Rdq,RSm,Wt
DIN EN ISO 4287-2010	原始轮廓参数	Pa,Pq,Pp,Pv,Pz,Pc,Pt,PSk,PKu,PSm,PPc,Pdq,Pdc,Pmr,
	粗糙度参数	Ra,Rq,Rp,Rv,Rz,Rc,Rt,RSk,RKu,RSm,RPc,Rdq,Rdc,Rmr,
	波纹度参数	Wa,Wq,Wp,Wv,Wz,Wc,Wt,WSk,WKu,WSm,WPc,Wdq,Wdc,Wmr
JIS B0601-2013	原始轮廓参数	Pa,Pq,Pp,Pv,Pz,Pc,Pt,PSk,PKu,PSm,PPc,Pdq,Pdc,Pmr,
	粗糙度参数	Ra,Rq,Rp,Rv,Rz,Rc,Rt,RSk,RKu,RSm,Rdq,Rdc,Rmr
	波纹度参数	Wa,Wq,Wp,Wv,Wz,Wc,Wt,WSk,WKu,WSm,WPc,Wdq,Wdc,Wmr
GBT 3505-2009	原始轮廓参数	Pa,Pq,Pp,Pv,Pz,Pc,Pt,PSk,PKu,PSm,PPc,Pdq,Pdc,Pmr,
	粗糙度参数	Ra,Rq,Rp,Rv,Rz,Rc,Rt,RSk,RKu,RSm,Rdq,Rdc,Rmr
	波纹度参数	Wa,Wq,Wp,Wv,Wz,Wc,Wt,WSk,WKu,WSm,WPc,Wdq,Wdc,Wmr