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光学轮廓仪测量原理

1) 分析中提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能，其中粗糙度分析包括依据国际标准的ISO4287的线粗糙度、ISO25178面粗糙度、ISO12781平整度等全参数分析功能；几何轮廓分析包括台阶高、距离、角度、曲率等特征测量和直线度、圆度形位公差评定等功能；结构分析包括孔洞体积和波谷深度等；频率分析包括纹理方向和频谱分析等功能；功能分析包括SK参数和体积参数等功能。

2) 测量中提供自动多区域测量功能、批量测量、自动聚焦、自动调亮度等自动化功能。

3) 分析中提供调整位置、纠正、滤波、提取四大模块的数据处理功能，其中调整位置包括图像校平、镜像等功能；纠正包括空间滤波、修描、尖峰去噪等功能；滤波包括去除外形、标准滤波、过滤频谱等功能；提取包括提取区域和提取剖面等功能。

4) 一体化操作的测量与分析软件，操作无须进行切换界面，预先设置好配置参数再进行测量，软件自动统计测量数据并提供数据报表导出功能，即可快速实现批量测量功能。

标准配置

1）主机

2）影像系统：1024×1024；

3）光学Zoom：1×；

4）XY位移载物台：自动位移台；

5）物镜转盘：3孔手动

5）品牌计算机；

6）校准模块；

7）操纵手柄；

8） 3D表面轮廓仪软件一套；

9）电气控制柜；

10）仪器配件箱；

11）便携加压充气装置一套；

可选配置：

1）干涉物镜：2.5×、5×、10×、20×、50×、100×

2）自动光学变倍目镜： 0.5×、1×、2×

3）真空吸附台(半导体晶圆片专用)：6寸、8寸、12寸

4）自动测量拼接测量功能模块

5）物镜转盘：5孔电动

光学轮廓仪测量原理参数表

标准名	参数
ISO 4287-1997		主剖面	粗糙度	波纹度
	振幅参数	Pp, Pv ,Pz, Pc, Pt,Pa,Pq,Psk,Pku	Rp, Rv ,Rz, Rc, Rt,Ra,Rq,Rsk,Rku	Wp, Wv ,Wz, Wc, Wt,Wa,Wq,Wsk,Wku
	间距参数	PSm,Pdq	RSm,Rdq	WSm,Wdq
	物料比参数	Pmr,Pdc	Rmr,Rdc,Rmr(Rz/4)	Wmr,Wdc,Wmr(Wz/4)
	峰值参数	PPc	RPc	WPc
ISO 13565	ISO 13565-2	Rk,Rpk,Rvk,Mr1,Mr2,A1,A2,Rpk,Rvk
ISO 12085	粗糙度图形参数	R,AR,R× ,Nr
	波纹度图形参数	W,AW,W×,Wte
	其他图形参数	Rke,Rpke,Rvke
AMSE B46.1	2D参数	Rt,Rp,Rv,Rz,Rpm,Rma×,Ra,Rq,Rsk,Rku,tp,Htp,Pc,Rda,Rdq,RSm,Wt
DIN EN ISO 4287-2010	原始轮廓参数	Pa,Pq,Pp,Pv,Pz,Pc,Pt,PSk,PKu,PSm,PPc,Pdq,Pdc,Pmr,
	粗糙度参数	Ra,Rq,Rp,Rv,Rz,Rc,Rt,RSk,RKu,RSm,RPc,Rdq,Rdc,Rmr,
	波纹度参数	Wa,Wq,Wp,Wv,Wz,Wc,Wt,WSk,WKu,WSm,WPc,Wdq,Wdc,Wmr
JIS B0601-2013	原始轮廓参数	Pa,Pq,Pp,Pv,Pz,Pc,Pt,PSk,PKu,PSm,PPc,Pdq,Pdc,Pmr,
	粗糙度参数	Ra,Rq,Rp,Rv,Rz,Rc,Rt,RSk,RKu,RSm,Rdq,Rdc,Rmr
	波纹度参数	Wa,Wq,Wp,Wv,Wz,Wc,Wt,WSk,WKu,WSm,WPc,Wdq,Wdc,Wmr
GBT 3505-2009	原始轮廓参数	Pa,Pq,Pp,Pv,Pz,Pc,Pt,PSk,PKu,PSm,PPc,Pdq,Pdc,Pmr,
	粗糙度参数	Ra,Rq,Rp,Rv,Rz,Rc,Rt,RSk,RKu,RSm,Rdq,Rdc,Rmr
	波纹度参数	Wa,Wq,Wp,Wv,Wz,Wc,Wt,WSk,WKu,WSm,WPc,Wdq,Wdc,Wmr