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目前国际市场主要采纳这几种原理, 金属电容式--加工工艺简单,精度和线性不好;硅压阻式--技术相对比较成熟,但稳定性不足,硅谐振式--加工工艺复杂,过压特性不好;单晶硅结合硅压阻和硅谐振综合技术.从而实现高精度、高稳定性、高过压、低温度影响.
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