产品详情
NSC-4000(A)全自动磁控溅射系统概述:带有水冷或者加热(可加热到700度)功能,可达到6"旋转平台,支持到4个偏轴平面磁控管。系统配套涡轮分子泵,极限真空可达10-7 Torr,15分钟内可以达到10-6 Torr的真空。通过调整磁控管与基片之间的距离,可以获得想要的均匀度和沉积速度。
NSC-4000(A)带有14”立方形不锈钢腔体,4个2”的磁控管,DC直流和RF射频电源。 在选配方面,350 l/s涡轮分子泵,额外的磁控管和衬底加热功能。
NSC-4000(A)全自动磁控溅射系统产品特点:
不锈钢腔体
260l/s或350l/s的涡轮分子泵,串接机械泵或干泵
13.56MHz,300-600W RF射频电源以及1KW DC直流电源
晶振夹具具有的<1 ?的厚度分辨率
带观察视窗的腔门易于上下载片
基于LabView软件的PC计算机控制
带密码保护功能的多级访问控制
*的安全联锁功能
预真空锁以及自动晶圆片上/下载片
选配项:
RF、DC溅射
热蒸镀能力
RF或DC偏压(1000V)
样品台可加热到700°C
膜厚监测仪
基片的RF射频等离子清洗
应用:
晶圆片、陶瓷片、玻璃白片以及磁头等的金属以及介质涂覆
光学以及ITO涂覆
带高温样品台和脉冲DC电源的硬涂覆
带RF射频等离子放电的反应溅射
智能负氧离子监测站 六要素微型气象仪 6要素气象传感器 六要素气象监测仪 6要素微型气象仪 鼠类监测设备 鼠害监测仪 鼠害监测设备 鼠害监测系统 老鼠监测站 鼠情自动监测系统 鼠害智能监测设备 鼠害智能监测系统 鼠情智能循环诱控装置 草原鼠害监测系统 鼠情监测设备 鼠害监测站 智慧农业害虫性诱监测专用设备 稻飞虱在线测报仪 稻飞虱在线监测仪 稻飞虱测报仪 水稻恶苗病监测仪 恶苗病监测仪 水稻恶苗病测报仪 金属款气象仪 水稻纹枯病测报仪 水稻纹枯病监测仪 纹枯病监测仪 纹枯病测报仪 稻瘟病测报仪 稻瘟病监测仪 稻蓟马测报仪 小麦蚜虫监测仪器 小麦蚜虫监测仪 小麦蚜虫测报仪 小麦黏虫在线监测系统 小麦黏虫测报仪 小麦黏虫监测仪 小麦赤霉病监测系统 小麦赤霉病测报仪 多功能雨量监测站 小麦条锈病测报仪 小麦条锈病在线监测系统 小麦条锈病监测仪器 玉米大斑病测报仪 玉米大斑病监测仪 玉米南方锈病测报仪 南方锈病测报仪 玉米南方锈病监测系统 二点委夜蛾测报仪