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NSC-1000磁控溅射系统概述:带有水冷或者加热(可加热到700度)功能,可达6"旋转平台,支持到2个偏轴平面磁控管。系统配套涡轮分子泵,极限真空可达10-7 Torr,15分钟内可以达到10-6 Torr的真空。通过调整磁控管与基片之间的距离,可以获得想要的均匀度和沉积速度。
NSC-1000带有10”派热克钟罩腔体,2个2”的磁控管,DC直流电源用于溅射金属,并带有膜厚监测仪(选配)。由于NSC-1000的空间有限,我们不能在NSC-1000系统上提供更多的电源和磁控管。我们可以提供我们的NSC-1000系统,用于SEM应用,也可以用于溅射金属到z大6”的晶圆片。
NSC-1000磁控溅射系统产品特点:
不锈钢,铝质腔体或钟罩式耐热玻璃腔
70l/s的涡轮分子泵,串接机械泵或干泵
1KW DC直流电源
晶振夹具具有的<1 ?的厚度分辨率
带观察视窗的腔门易于上下载片
基于LabView软件的PC计算机控制
带密码保护功能的多级访问控制
*的安全联锁功能
选配项:
Thickness Monitor 膜厚监测
应用:
SEM应用
溅射金属,可达6"的晶圆片
智能负氧离子监测站 六要素微型气象仪 6要素气象传感器 六要素气象监测仪 6要素微型气象仪 鼠类监测设备 鼠害监测仪 鼠害监测设备 鼠害监测系统 老鼠监测站 鼠情自动监测系统 鼠害智能监测设备 鼠害智能监测系统 鼠情智能循环诱控装置 草原鼠害监测系统 鼠情监测设备 鼠害监测站 智慧农业害虫性诱监测专用设备 稻飞虱在线测报仪 稻飞虱在线监测仪 稻飞虱测报仪 水稻恶苗病监测仪 恶苗病监测仪 水稻恶苗病测报仪 金属款气象仪 水稻纹枯病测报仪 水稻纹枯病监测仪 纹枯病监测仪 纹枯病测报仪 稻瘟病测报仪 稻瘟病监测仪 稻蓟马测报仪 小麦蚜虫监测仪器 小麦蚜虫监测仪 小麦蚜虫测报仪 小麦黏虫在线监测系统 小麦黏虫测报仪 小麦黏虫监测仪 小麦赤霉病监测系统 小麦赤霉病测报仪 多功能雨量监测站 小麦条锈病测报仪 小麦条锈病在线监测系统 小麦条锈病监测仪器 玉米大斑病测报仪 玉米大斑病监测仪 玉米南方锈病测报仪 南方锈病测报仪 玉米南方锈病监测系统 二点委夜蛾测报仪