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NPE-4000(ICPA)全自动ICPECVD等离子体化学气相沉积系统概述:NANO-MASTER ICPECVD系统能够沉积高质量的SiO2, Si3N4, 或DLC薄膜到z大可达6” 直径的基片上.该系统采用淋浴头电极或中空阴极射频等离子源来产生等离子,具有分形气流分布的优势.样品台可以通过RF或脉冲DC产生偏压。并可以支持加热和循环冷却水的冷却.使用250l/sec涡轮分子泵及3.5 cfm的机械泵,腔体可以达到低至10-7 torr的真空。标准配置包含1路惰性气体、3路活性气体管路和4个MFC.带有*气体分布系统的平面中空阴极等离子源使得系统可以满足广大范围的要求,无论是等离子强度、均匀度,还是要分别激活某些活性组份,这样系统可以覆盖z广的可能性来获得各种沉积参数。
NPE-4000(ICPA)全自动ICPECVD等离子体化学气相沉积系统应用:
等离子诱导表面改性:就是通常所说的用等离子实现表面改性(如亲水性、疏水性等)
等离子清洗:去除有机污染物
等离子聚合:对材料表面产生聚合反应
沉积二氧化硅、氮化硅、DLC(类金刚石),以及其它薄膜
CNT(碳纳米管)和石墨烯的选择性生长:在需要的位置生长CNT或石墨烯。
特点:
立式ICPECVD系统
不锈钢或铝制腔体
极限真空可达10-7Torr
全自动上下载片,带预真空锁
ICP离子源
高达6”(150mm)直径的样品台
RF射频偏压样品台
水冷样品台
可加热到的800 °C样品台
加热的气体管路
加热的液体传送单元
抗腐蚀的涡轮分子泵组
z大可支持到8MFC
基于LabView软件的PC计算机全自动控制
菜单驱动,4级密码访问保护
完整的安全联锁
导轨式电表 4803A加速度传感器 陀螺经纬仪定向精度及稳定性 BSN900HF 焊缝超声波探伤仪 气象水文卫星接收设备 本安电磁阀 复合膜拉力机 反相气相色谱法 成丰涡街流量计 涡流探伤机 液相制备色谱仪 测量测试仪器 活塞式压力真空计 双法兰立式振动电机 智能负氧离子监测站 六要素微型气象仪 6要素气象传感器 六要素气象监测仪 6要素微型气象仪 鼠类监测设备 鼠害监测仪 鼠害监测设备 鼠害监测系统 老鼠监测站 鼠情自动监测系统 鼠害智能监测设备 鼠害智能监测系统 鼠情智能循环诱控装置 草原鼠害监测系统 鼠情监测设备 鼠害监测站 智慧农业害虫性诱监测专用设备 稻飞虱在线测报仪 稻飞虱在线监测仪 稻飞虱测报仪 水稻恶苗病监测仪 恶苗病监测仪 水稻恶苗病测报仪 金属款气象仪 水稻纹枯病测报仪 水稻纹枯病监测仪 纹枯病监测仪 纹枯病测报仪 稻瘟病测报仪 稻瘟病监测仪 稻蓟马测报仪 小麦蚜虫监测仪器 小麦蚜虫监测仪 小麦蚜虫测报仪 小麦黏虫在线监测系统