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NLD-4000(A)全自动原子层沉积系统概述:原子层沉积是一项沉积薄膜的重要技术,具有广泛的应用。ALD原子层沉积可以满足精确膜厚控制以及高深宽比结构的保形沉积,这方面ALD原子层沉积远超过其它沉积技术。由于前驱体流量的随意性不会带来影响,所以在ALD原子层沉积中有序、自限制的表面反应将会带来非统计的沉积。这使得ALD原子层沉积膜保持高度的光滑、连续以及无孔的特性,可以提供优异的薄膜性能。ALD原子层工艺也可以实现到大基片上。
NLD-4000(A)全自动原子层沉积系统特点:NLD-4000(A)是一款全自动独立的PC计算机控制的ALD原子层沉积系统,带Labview软件,具备四级密码控制的用户权限保护功能。系统为全自动的安全互锁设计,并提供了强大的灵活性,可以用于沉积多种薄膜(如:AL2O3, AlN, TiN, ZrO2, LaO2, HfO2,等等)。应用领域包含半导体、光伏、MEMS等。NLD-4000(A)系统提供12”的铝质反应腔体,带有加热腔壁和气动升降顶盖,非常方便腔体的访问和清洁。该系统拥有一个载气舱包含多达7个50ml的加热汽缸,用于前驱体以及反应物,同时带有N2或者Ar作为运载气体的快脉冲加热传输阀。
NLD-4000(A)选配:NLD-4000(A)系统的选配项包含,ICP离子源(用于等离子增强的PEALD),臭氧发生器,等等。
NLD-4000(A)应用:
Oxides氧化物: Al203, HfO2, La2O3, SiO2, TiO ZnO, In2O3,etc
Nitrides氮化物: AlN, TiN, TaN, etc..
Photovoltaic and MEMS applications光伏及MEMS应用.
Nano laminates纳米复合材料
导轨式电表 4803A加速度传感器 陀螺经纬仪定向精度及稳定性 BSN900HF 焊缝超声波探伤仪 气象水文卫星接收设备 本安电磁阀 复合膜拉力机 反相气相色谱法 成丰涡街流量计 涡流探伤机 液相制备色谱仪 测量测试仪器 活塞式压力真空计 双法兰立式振动电机 智能负氧离子监测站 六要素微型气象仪 6要素气象传感器 六要素气象监测仪 6要素微型气象仪 鼠类监测设备 鼠害监测仪 鼠害监测设备 鼠害监测系统 老鼠监测站 鼠情自动监测系统 鼠害智能监测设备 鼠害智能监测系统 鼠情智能循环诱控装置 草原鼠害监测系统 鼠情监测设备 鼠害监测站 智慧农业害虫性诱监测专用设备 稻飞虱在线测报仪 稻飞虱在线监测仪 稻飞虱测报仪 水稻恶苗病监测仪 恶苗病监测仪 水稻恶苗病测报仪 金属款气象仪 水稻纹枯病测报仪 水稻纹枯病监测仪 纹枯病监测仪 纹枯病测报仪 稻瘟病测报仪 稻瘟病监测仪 稻蓟马测报仪 小麦蚜虫监测仪器 小麦蚜虫监测仪 小麦蚜虫测报仪 小麦黏虫在线监测系统