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Setra西特225超高纯压力变送器·
Setra GCT-225 系列超高纯压力变送器专门设计用于半导体工艺过程中的超高纯气体输送系统以及要求超洁净工作、高吞吐量和超高长期稳定性的控制应用于高纯度气体输送系统·半导体过程工具,气柜
GCT-225 系列采用可旋转的外罩结构,用户可方便地调节
用于零点和量程微调的 12 圈电位计。标准的旋转外螺纹 /内螺纹端面密封压力接口可满足半导体行业的要求。此外,该系列产品还选用多种其他接口类型。 GCT-225系列产品,提供 5VDC、 10VDC 或 4-20mA 三种输出类型,可使用六英尺多芯电缆及卡口、 D-Sub或 M12x1接头进行电气连接。
特性
■泄露率低
■ VCR 接头
■ 易于吹扫的小腔室
■ 200PSI/250PSI/3000PS
·316 L VIM/VAR 不锈钢
·表面抛光度 7 Ra
·VCR 接头
·1×10-9 级别的氨渗漏实验
·坚固耐用,*安装
·4-20mA 输出型获得不易燃认证,适用于潜在危险区域
·符合 CE 和 RoHS 标准要求
应用
GCT-225 系列压力变送器采用 Setra砖利的可变电容技
术,配有 VIM/VAR 316L 不锈钢隔膜和绝缘电极板。绝缘
电极板与传感器本地构成可变电容。当气体压力提升时,
隔膜会变得略圆,使电容减小。传感器将检测到电容变化,
并将其转换为高精度的线性直流电信号。 Setra*的定
制集成电路采用砖利的电荷平衡原理制成,几乎不受 EMI/
RFI 干扰。
在制造和装配完成后, Setra超高纯压力变送器还要接受
去离子水冲洗、高纯热氮气吹扫、烘干、双层包装、氮气
充注和密封等处理,蕞后才发货。