产品详情
型號 | VR-3200 | |||
類型 | 量測頭 | |||
適用控制器 | VR-3000K | |||
觀察量測範圍 | 大视野模式 | 15 型螢幕上顯示倍率 12x | 水平(H) | 24mm |
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| 垂直(V) | 18mm |
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| 15 型螢幕上顯示倍率 25x | 水平(H) | 12mm |
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| 垂直(V) | 9mm |
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| 15 型螢幕上顯示倍率 38x | 水平(H) | 8mm |
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| 垂直(V) | 6mm |
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| 15 型螢幕上顯示倍率 50x | 水平(H) |
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| 垂直(V) | 4.5mm |
| 高倍率模式 | 15 型螢幕上顯示倍率 40x | 水平(H) | 7.6mm |
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| 垂直(V) | 5.7mm |
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| 15 型螢幕上顯示倍率 80x | 水平(H) | 3.8mm |
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| 垂直(V) | 2.9mm |
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| 15 型螢幕上顯示倍率 120x | 水平(H) | 2.5mm |
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| 垂直(V) | 1.9mm |
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| 15 型螢幕上顯示倍率 160x | 水平(H) |
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| 垂直(V) | 1.4mm |
鏡頭 | 1 至 4 倍 | |||
可量測高度 | 大視野模式:10mm(±5mm) 高倍率模式:1mm(±0.5mm)*1 | |||
顯示解析度 | 0.1 µm*2 | |||
重覆精度 (σ) | 高度量測 | 0.5 µm*3 | ||
| 寬度量測 | 大視野模式:1 µm、高倍率模式:0.5 µm*3 | ||
量測精度 | 高度量測 | ±3 •µm*3 | ||
| 寬度量測 | 大視野模式:±5 µm、高倍率模式:±2 µm*3 | ||
影像連接功能 | 全自動(XY 自動控制+ 自動對焦)量測*4 | |||
載物台 | XY 載物台移動量 | 184 × 88 mm(電動) | ||
| Z 載物台移動量 | 90 mm(電動) | ||
| 旋轉角 | ±180°(試料旋轉載物台) | ||
| 傾斜角 | ±30° 以上 | ||
動作距離 | 75 mm | |||
影像擷取元件 | 1 型400 萬畫素黑白CMOS | |||
投光鏡頭 | 雙重遠心鏡頭 ×2 | |||
受光鏡頭 | 雙重遠心鏡頭 | |||
照明系統 | 觀察用光源 | 環形 LED 照明(紅、綠、藍) | ||
| 量測用光源 | 白光 LED | ||
影像尺寸 | 1024×768 畫素、2048×1536 畫素 | |||
資料處理部份 | KEYENCE 專用PC(OS 為 Windows7)*5 | |||
額定 | 電源電壓 | 100 至 240 VAC ±10 %、50/60 Hz | ||
| 耗電量 | 150 VA | ||
環境抗耐性 | 環境溫度 | +15 至 +30 °C | ||
| 相對濕度 | 35 至 80 % RH (無凝結) | ||
重量 | 28.0 kg | |||
*1 以焦點位置為中心,低倍率端 ±5 mm,高倍率端側 ±0.5 mm 的範圍 |
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