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产品详情
日本科赋乐微小流量质量流量计
日本KOFLOC
3100系列质量流量计-微小流量
应用于多个OEM设备场合，尤其适合微小流量测量
适用于燃气低压力、泄漏测试的低流量、半导体等使用
±15VDC供电性能稳定，0-5V模拟信号更加通用
可定制0.02-1SCCM微小流量
日本科赋乐微小流量质量流量计
量程(N2) | 1SCCM-20SLPM、小0.02-1SCCM |
精度 | ±1.0%FS |
重复性 | ±0.2%FS |
响应时间 | 1秒以内 |
耐压 | 1.0Mpa |
进口大压力 | O.5Mpa |
泄漏率 | 1*10-8pa·m³/s以下 |
温度范围 | 5-45℃ |
湿度范围 | 10-90%RH(不能结露) |
材质 | 本体SUS316L |
密封圈NBR、PTFE、FKM等 | |
电气接口 | DB9 |
模拟信号 | 0-5V输出 |
供电 | +15VDC(±5%)100mA；-15VDC(±5%)100mA； |
管路连接 | 标配1/4F9 |
选配1/8F9、1/4UJR、RC1/4 | |
重量 | 约800g |
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