产品详情
日本科赋乐金属密封数字式质量流量控制器
DF550C是基于DF200C基础上的金属密封产品,它除开拥有DF200
的高精度、高速度性能之外,在泄漏率方面做的更低,非常适用于
高真空、强腐蚀、剧毒气体等等在对泄漏率有高要求场合
泄漏率:1*10-11pa·m³/s以下
金属密封,适用于对泄漏率有高要求场合
日本科赋乐金属密封数字式质量流量控制器
性能参数:
量程(N2) | 10SCCM-10SLPM |
气体 | 所有气体 |
精度 | ±1.0%FS |
重复性 | ±0.25%FS |
有效范围 | 2- |
响应时间 | 1秒以内 |
耐压 | 1.0Mpa |
进口大压力 | 0.5Mpa |
工作压差 | 0.05-0.3Mpa |
泄漏率 | 1*10-11pa·m³/s以下 |
温度范围 | 5~50℃ |
精度保证温度 | 15~35℃ |
保存温度 | -10~60℃ |
湿度范围 | 10-90%RH(不能结露) |
材质 | 本体SUS316L |
密封圈SUS316L | |
电气接口 | DB9 |
通讯接口 | RJ45 |
模拟信号 | 0-5V输入/输出 |
供电 | +24VDC(±10%)300mA;±15VDC(±10%)300mA |
管路连接 | 标配1/4UJR |
重量 | 约1100g |
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