产品详情
K1000质量流量控制器为高精度,高稳定性的热式质量流量控制器。它的量程范围从10sccm到1000sccm,K1000A为小流量量程MFC(从10sccm~50slm),具备多气体多量程功能,8种BIN Size能对应10sccm~50slm的所有流量
K1000质量流量控制器优势
• 传感器部分采用哈氏合金,耐腐蚀性强。
• 产品精度高,可达~25%:±1.0% of S.P.、25%~2%:±0.25%F.S. 响应时间快(≤1s)
• 产品具有多气体多量程功能,可对气体种类、流量的变更设定
• 支持大流量(大可到1000L)数字模式通讯模式
• 产品通过CE、RoHS认证
K1000质量流量控制器为高精度,高稳定性的热式质量流量控制器。它的量程范围从10sccm到1000sccm,K1000A为小流量量程MFC(从10sccm~50slm),具备多气体多量程功能,8种BIN Size能对应10sccm~50slm的所有流量
K1000质量流量控制器优势
• 传感器部分采用哈氏合金,耐腐蚀性强。
• 产品精度高,可达~25%:±1.0% of S.P.、25%~2%:±0.25%F.S. 响应时间快(≤1s)
• 产品具有多气体多量程功能,可对气体种类、流量的变更设定
• 支持大流量(大可到1000L)数字模式通讯模式
• 产品通过CE、RoHS认证
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