MEGATORR公司半导体工程用石英制品

MEGATORR公司半导体工程用石英制品

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CMCP系列通用型真空计

CMCAP系列计量器是坚固的全焊接构造以Inconel隔膜为特征的小型经济型非加热电容器。

该电子产品将因环境温度变化而产生的漂移控制在小限度的温度范围。

不受气体的影响，在所有环境下都可以测量压力。

介绍：

电容隔膜规（CDG）是指气体种类不受影响，可以准确测量真空压。

Brooks公司*的传感器技术：对US Patent No、4823603）进行数字温度控制，

通过组合数字校准，实现了更高精度、长期稳定性。

XacTorr数字真空压力计

数字电路装载的电容计量器，CMX系列，由于独自的传感器技术US Patent No.4823603里组合数字温度控制，数字校准，实现了更高精度，长期稳定性。

介绍：

电容隔膜规（CDG）是指气体种类不受影响，可以准确测量真空压。

Brooks公司*的传感器技术对US Patent No、4823603进行数字温度控制，

通过组合数字校准，实现了更高精度、长期稳定性。

非加热插槽蝶泳阀门MR15KFVSP572,MR30ITV000SN,MR18KFVSF605

通过阀部0～90°可变来进行真空压力控制的节流阀。各种真空室（蚀刻装置等）的压力控制可以快速响应，通过与AP系列控制器/电容计并用，可以在半导体等工艺中获得高速响应、真空压力控制。

宽带阀040(NW40),050(NW50),063(NW63),075(NW80)

在以往的真空压力控制中，随着过程的多样化，压力控制范围也呈现出多样化的趋势，特别是在低真空（高压）下压力控制的需求增加。阀门加热温度也一样，随着过程气体的多样化，变得更需要温度。为了满足您的要求而开发的是这个宽带阀门。

宽压力控制范围：101.33kPa（大气压）～10Pa以下（760Torr～70mTorr以下）可以控制，还能加热到200℃。

压力控制器AP-420

AP系列是电容计量器（压力真空计）和槽阀组合使用的压力控制器。可以从自适应/PID/混合动力3种类型中选择控制方式，确保半导体/FPD/太阳能电池等制造装置所要求的高速应答、高再现性的真空压力控制。也可以通过前面板进行设定，操作性非常容易。另外，由于CE标志、RoHS对应产品，被世界上所有产业的量产设备所使用

压力控制器AP-100R

Model AP-100R将制造装置中的真空室进行真空排气时，通过改变阀门电导，作为控制真空排气速度的下游压力控制装置使用。

焊接金属

焊接胶体作为一般真空设备、半导体制造装置中可动部分的真空保持和装置的排气管道而被大量使用。特别是为了保持装置可动部的真空，需要考虑安全性/气密性和耐久性，使用高品质金属的焊接金属。本公司的焊接金属在ISO 9001认证工厂进行管理、制造、检查，提供令人放心的高品质焊接金属。

石英制品

在半导体工程中使用的石英产品，特别要求品质严格。本公司经营的Wonk Quartz公司生产的石英制品是ISO 9002认证工厂生产的高质量、高精度的产品。备齐各种石英。

逆流防止阀M-NW50,M-NW30H,M-NW40H

安装在真空排气泵上部，是在排气泵紧急停止时切断排气线的部件。在成膜、剥离过程中产生的反应产物和粉尘在Chamber内和排气系统中累积过程中如果泵紧急停止的话，会引起Chamber内粉尘的飞扬和管道等造成的Chamber内产品污染。通过使用Chamber防护，在停止泵时，通过瞬间切断排气系统，防止粉尘逆流，保护产品不受污染。

真空计用电源显示器MS-1S,MS-2S

MS-1/MS-2S是Brooks公司生产的电容表配备了SetPoint继电器的显示器和电源供应单元。可以连接一台或两台电容表。内置2个或4个独立动作的定点继电器。连接带有温度支架输出的电容表时，可以显示温度支架。