半导体用螺杆真空泵

半导体用螺杆真空泵，东莞市普诺克真空科技有限公司专业研发制造：针对产业内容客户群需要，自主研发制造真空泵产品。

螺杆真空泵特点优势：

1、真空度高，单泵极限压力≤1Pa，高真空区抽气量大。
2、工作效率高，功耗低。
3、泵腔内无油，对被抽系统无污染，可获得洁净真空。
4、螺杆泵转子间隙相对较小，极限真空度更高，适用于半导体、电子工业中要求无油洁净的工作场合；系列螺杆泵转子间隙相对较大，极限真空度相对低一些，泵腔及转子表面有镀镍层或PTFE涂层可供选择，可抽除大量水蒸气及多种腐蚀性介质，适用于化工、制药等工作环境较为恶劣的工作场合。
5、工作过程中无废油、废水排放，对环境无污染。
6、结构简单、紧凑，维修方便，占地面积小。  

                 
螺杆真空泵应用：
真空镀膜、真空焊接炉、真空热处理炉、大型空间模拟试验、灯管及灯泡制造、激光器制造、真空包装设备、汽车制造业、集中真空抽气系统、各类化工处理、真空脱汽、真空除气、真空脱水、真空冷冻干燥、真空蒸馏。 

螺杆真空泵主要特性和优势:
资金成本低，维护要求 低，由此拥有成本也低
减少用户干预次数
降低易耗品成本
无需除油
不会向大气中排放废油
抽取速度非常稳定，为制程带来可重复性
大气压下持续泵送
能够处理微粒
干式操作消除了反流，从而使反应合金免受污染。
不易察觉的噪声级
无难看的油溅
无危险油蒸汽

型号：PNK DSP 0460
额定流量：460m3/h
极限压力：1Pa
电机功率：15kw
转速：2900/3500rpm
噪音：75dB(A)
吸气口：80mm
排气口：65mm
冷却水量：15-20L
空温：0-50℃
操作湿度：90%RH 

半导体用螺杆真空泵

曲线图：

安装图：