Setra西特GCT-225-Setra西特225超高纯压力变送器

Setra西特225超高纯压力变送器·高纯度气体输送系统
·半导体过程工具
·气柜
Setra西特225超高纯压力变送器·专门设计用于半
导体工艺过程中的超高纯气体输送系统以及要求超洁净工
作、高吞吐量和超高*稳定性的控制应用于高纯度气体输送系统·半导体过程工具,气柜
GCT-225 系列采用可旋转的外罩结构，用户可方便地调节
用于零点和量程微调的 12 圈电位计。标准的旋转外螺纹 /
内螺纹端面密封压力接口可满足半导体行业的要求。此外，
该系列产品还选用多种其他接口类型。 GCT-225 系列产品
提供 5 VDC、 10 VDC 或 4-20 mA 三种输出类型，可使用
六英尺多芯电缆及卡口、 D-Sub 或 M12x1 接头进行电气
连接。

特性

■ 泄露率低
■ VCR 接头
■ 易于吹扫的小腔室
■ 200PSI/250PSI/3000PS
·316 L VIM/VAR 不锈钢
·表面抛光度 7 Ra
·VCR 接头
·1×10-9 ATM.CC/sec 级别的氨渗漏实验
·坚固耐用，*安装
·4-20mA 输出型获得不易燃认证，适用于潜在危险区域
·符合 CE 和 RoHS 标准要求
应用

GCT-225 系列压力变送器采用 Setra 砖利的可变电容技
术，配有 VIM/ VAR 316L 不锈钢隔膜和绝缘电极板。绝缘
电极板与传感器本地构成可变电容。当气体压力提升时，
隔膜会变得略圆，使电容减小。传感器将检测到电容变化，
并将其转换为高精度的线性直流电信号。 Setra *的定
制集成电路采用砖利的电荷平衡原理制成，几乎不受 EMI/
RFI 干扰。
在制造和装配完成后， Setra 超高纯压力变送器还要接受
去离子水冲洗、高纯热氮气吹扫、烘干、双层包装、氮气
充注和密封等处理，蕞后才发货。
注 ： Setra 的质量标准是根据 ANSI-Z540 制定的。该产品
的标定具有 NIST 可追踪性，美国砖利号。