Setra西特217-Setra西特217超高纯压力变送器

Setra西特217超高纯压力变送器
 

Setra 217 型压力变送器专为模块式 “Block” 气体棒和面板设计，非常适合恶劣环境（例如冷气流导致的温度瞬变下的压力测量应用于·模块式“Block”气体棒和面板·高纯度气体输送系统半导体过程工具。

Setra西特217超高纯压力变送器特性
·316 L VIM/VAR 不锈钢
·表面抛光度 7 Ra
·1×10-9 ATM.CC/sec 级别的氨渗漏实验
·出色的稳定性，避免停机
·可选带 C 型或 W 型密封的压力端口
·抗电磁干扰 / 射频干扰，可防止误停机
·易于吹扫
·符合 CE 和 RoHS 标准要求
应用
·模块式“Block”气体棒和面板
·高纯度气体输送系统
·半导体过程工具
217 型压力变送器可选带 C 型或 W 型密封的朝下安装的压力
端口，带有易于吹扫的小型传感器腔室。所有接液部件均采
用 VIM/VAR 316L 不锈钢制造，且表面钝化抛光至 5 Ra（蕞
大 7 Ra），确保表面平整且耐化学腐蚀，实现无污染气体输送。
每个传感器都采用质谱仪进行了 1 x 10-9 ATM.CC/sec 级别的
氦渗漏试验。
217 型压力变送器可选 5 VDC、 10 VDC 或 4-20 mA 三种
输出类型，并提供多种标准电气接口。顶部外侧带有零点
和量程调整装置，进一步体现了*设计，适合所有朝下
安装的 UHP（超高纯）压力测量应用。 217 型同时也是
一款获砖利的可变电容传感器，采用 316L 不锈钢隔膜和
绝缘电极板，可变电容在传感器本体与电极板之间形成。
当气体压力提升时，隔膜会变得略圆，使电容减小。传感
器将检测到电容变化，并基于砖利的电荷平衡原理，通过
Setra *的定制集成电路将其转换为高精度的线性直流
电信号。
Setra 所有的超高纯系列产品都基于 Setra 成熟的电容传
感技术制造，能提供几乎不受 EMI/RFI 干扰的高精度、稳
定的电压或电流输出信号。

217型的技术规格

性能数据

jing确RSS*（恒定温度下）±0.25%全量程或读数±1.0%

非线性，BFSL±0.15%全量程

滞后0.20%全量程

非重复性0.02%全量程

热效应**

补偿范围oF(℃)+15到+150（-9到+65）

零点漂移%FS/100oF(50℃)2.0(1.8)

范围漂移%FS/100oF(50℃)2.0(1.8)

*非线性、非重复性和迟滞的RSS（和方根）值。

**在额定70oF下校验过的设备。根据此数据而计算的**温度误差。

环境数据

温度

工作温度*oF(℃)-40到+185（-40到+85）

储存温度oF(℃)-40到+185（-40到+85）

*工作温度仅是电子设备的温度Ji限。受压媒介的温度可能要高或低很多。

物理描述

外壳不锈钢

电气连接6ft.多芯电缆，Bayonetor

D-型接头

压力接头下安装“C”密封

通风通过零点和范围接近螺钉

重量6.5oz(184g)

电气数据（电压）

电路3根导线（Exc、Out、Com）

激励10至30VDC（5VFSO）

13至30VDC（10VFSO）

输出*0至5VDC或0.2至5.2VDC**

0至10VDC或0.2至10.2VDC**

电流消耗<8mA

*校准精度为50Kohm负荷，可操作5000ohm或更大的负荷。

**零点输出的出厂设置在±25mV之内（限5VDC输出）

或±50mV(限10VDC输出)。

**范围（全量程）输出的出厂设置在±25mV之内

（限5VDC输出）或±50mV(限10VDC输出)。

电气数据（电流）

电路2根导线

输出*4至20mA**

外部负荷0至800Ohm

**电源电压(VDC)=10+0.02x（接收器正Ji导线的电阻）。

**电源电压(VDC)=30+0.004x（接收器正Ji导线的电阻）。

*出厂时以24VDC回路电压和一个250ohm负荷，进行校准。

**零点输出的出厂设置在±0.08mA之内。

**范围（全量程）输出的出厂设置在±0.08mA之内。

压力媒介

与316L不锈钢相兼容的液体或气体。