产品详情
微气体质量流量计原理的概述:
采用关键矽微机械加工技术的MS流量传感器具有测量微小、小流量的优势的MEMS( Microelectromechanical systems)气体质量流量计和流量控制器,主要应用于轻工、化工、环保及半导体等工业部门的空气、氧气、氩气、氮气等气体的检测和控制。
该产品能替代浮子流量计、孔板流量计等流量计。其特点是可靠性高、重复性好,压损小,无可动部件,量程比宽,响应时间较快,测量精度高,无需要温度压力补偿。
微气体质量流量计原理的技术参数:
2.1 测量介质:各种气体(乙炔气和混合气体除外)
2.2 流量范围:DN3 30-300ml/min
DN6 60-600ml/min
DN8 80-800ml/min
DN10 100-1000ml/min
注:
a)以上流量的测量介质为空气而言;
b)以上流量的标准状态20℃,101.325kPa。
c) 每个口径量程范围均可扩大
d)特殊需要可单独标定
2.3 流量测量准确度:±1.5%FS;±2.5%FS
2.4 工作温度范围:0-55℃;
2.5 工作压力范围:0.3MPa,0.6MPa,1.0MPa
2.6 供电电源:24VDC±10%;
2.7 输出信号:4-20mA,RS485通讯;
2.8 环境温度:0-55℃;
2.9 显示位数:瞬时流量为三位,累积流量10位。
工作原理:
uf感热式芯片技术是采用大规模集成电阻的工作, 保证传感器的高度*,解决了:“现在传统的热式质量流量计无法保证其传感器的电阻值的*性,导致传感器在各个法线方向热传导速度的差异,所以传统的热式质量流量计在传感器校准和使用过程中产品稳定性存在问题,实际应用中的热式质量流量计价格昂贵,大规模应用比较难”的问题。而uf感热式芯片的功耗大大小于普通的热式质量流量计,同时可靠性稳定,安全性更好。
在芯片上,一个微热源及分别处于微热源上下游的温度传感器集成在采用MEMS的*工艺制作的镂空桥面上。采用这这样的桥式方式制作有利于热传导,使动态响应时间大大提高。当传感器工作时,微热源与环境温度之间保持一定的温差(通常是70℃),在芯片周围形成固定的温度场分布。如果气体是单向流动,
微气体质量流量计的型号命名
MF? | ? | ? | ? | ? | ? | ? | ? | ? | ? | |
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| 接头类型 | 0:普通 |
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| 1:Swagelok接头 | ||
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| 2:其他 | ||
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| 连接形式 | 0:快速接头 | |
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| 1:法兰式 | |||
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| 标定方式 | 0:空气 | ||
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| 1:氢气 | |||
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| 2:氧气 | |||
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| 3:氮气 | ||||
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| 品种 | 01:有显示;有485通讯口;有4-20mA输出 | |||
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| 02:有显示;有485通讯口;无4-20mA输出 | ||||
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| 03:有显示;无485通讯口;有4-20mA输出 | ||||
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| 04:有显示;无485通讯口;无4-20mA输出 | ||||
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| 05:无显示;有485通讯口;无4-20mA输出 | ||||
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| 06:无显示;无485通讯口;有4-20mA输出 | ||||
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| 材质 | 0:304不锈钢 | ||||
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| 1:316不锈钢 | |||||
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| 2:316L不锈钢 | |||||
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| 3:铝 | |||||
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| 4:其他 | |||||
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| 压力 | 0:≤0.3Mpa | |||||
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| 1:≤0.6Mpa | ||||||
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| 2:≤1.0Mpa | ||||||
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| 被测介质 | |||||||
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| 流量范围 | ||||||||
| 产品通径 | 03:DN3 | ||||||||
| 06:DN6 | |||||||||
| 08:DN8 | |||||||||
| 10:DN10 | |||||||||
产品类型 | M:质量流量计 | |||||||||
C:质量流量控制器 |
输出
PIN1:报警输出2
PIN2:报警输出1
PIN4:RS485B
PIN5:RS485A
PIN11:电源负端(0V)
PIN12:电断正端(24V)
PIN14:LOOP-
PIN15:LOOP+
PIN3、6~10、13:信号地(报警信号参考地)
8.2 报警连接
8.3 RS485连接:
8.4 4-20mA输出连接:
气相色谱质谱仪 精小型温度变送器 FG-T高精度涡轮流量计 优利德UT802 智能数字巡检仪 带表深度卡尺 大坝监测仪器沉降仪 空气分析器 电脑版自动冲洗型纯水机 汽轮机热力性能 NLS-PD630数据采集器 碳纤维拉伸试验机 多功能计数仪表 法兰柱塞阀 迈测激光测距传感器 DNC多功能电能表现场校验仪 FP-07型电流发生器 管道视频内窥镜 ZFD-1000系列无线测温系统 小长图有纸记录仪 电流测试仪 步入式低温试验箱 在线气体组分及气溶胶监测系统 高温可燃气体检测仪 风力发电风速仪 上海舜宇恒平 光电式污泥浓度计 检测与传感技术实验教程 电阻式触控 ZYT-0100激光测距传感器 YRT型熔点仪 密封式化验制样粉碎机 气体检测报警器 热老化箱 全自动BOD自动分析仪 MV5400系列电动调节阀 BL-FO磁性翻柱液位计 维和时代GP140手持金属探测器 2.5D影像测量仪 一种阵列天线弧形扫描的毫米波成像系统 语音电子秤 TDS水质检测笔 直流电能表GSM-DE 接地电阻仪 富莱克2750 GSD941W双水冷式超高温蝶阀 MTB称重传感器 光开关 频率电压变换器 开启式电流互感器