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狭缝激光精密切割
狭缝是光谱仪的主要部件之一。狭缝是一条宽度可调、狭窄细长的缝孔。有固定狭缝,单边可调的非对称式狭缝和双边可调的对称狭缝。光辐射经光谱仪色散分光后的每条谱线,都是入射狭缝的像。进入单色器或从单色器出射的辐射能量,均由狭缝宽度调节。现代光谱仪中狭缝与光栅的转动耦合在一起,可自动调节。狭缝宽度的单位为μm,大宽度为2mm。摄谱仪仅有入射狭缝,单色仪有入射、出射两个狭缝,多色仪有数个出射狭缝。
狭缝按功能区分,又可分为入射狭缝和出射狭缝。出射入射和中间狭缝是喇曼光谱仪的重要部分。入射、出射狭缝的主要功能是控制仪器分辨率,中间狭缝主要是用来抑制杂散光。对于一个光谱仪,即使用一单色光照射狭缝,其出射光也总有一宽度为Δυ的光谱分布。这主要是由仪器光栅,光学系统的象差,零件加工及系统调整等因素造成的,并由此决定了仪器的极限分辨率。在实际测量中,随着狭缝宽度加大,分辨率还要线性下降,使谱线展宽。
狭缝的制作方法有以下几种:
一、简单加工
线切割:此种工艺加工的狭缝,狭缝周边会有一些缺陷。由于线切割会产生一些油污等,需要后期清理,清洗要干净。
二、有难度激光加工
激光加工狭缝比线切割的效率要快。但也存在切割加工的一些不足,比如:下刀和收刀口的棱边处理。由于激光是通过光温烧切材料,容易在缝的周边存留一下残渣,残渣的颜色都是黑色,而且很难清理。激光加工的小的缝可以达到0.1mm,甚至更小的缝。但是,放大N倍后,波浪纹的存在是其大的缺陷。
三、替代方案:蚀刻加工
蚀刻加工狭缝目前为数不多,而且要达到的微米级的加工企业更不多。
四、电子束加工
电子束加工的大优点是可以加工极小的狭缝,加工的材料也有多种,金属和非金属都可行。
五、可调狭缝
顾名思义,就是作两片边缘非常整齐的片,使用工具制作一种可调整缝宽的狭缝。
梁经理
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