产品详情
在线露点仪 半导体行业在线露点仪 高稳定性能在线露点仪
型号: JC06-Michell
简单介绍 (变送器+国产二此表) 于半导体行业 Michell
●安装简便
●高度的稳定性和重复性
●测量范围Z低达-120OC露点,相当于〈1ppbV
●Z佳精确度为±1℃露点
●4~20mA及RS 485输出
●半导体工业表面处理和清洁英国密析尔仪表有限公司(Michell)生产,专业的露点变送器生产厂商。
在线露点仪 半导体行业在线露点仪 高稳定性能在线露点仪 技术参数:
传感器
类型:密析尔Ceramic 陶瓷湿度变送器
测量范围:-120~-40℃露点 (标定-100~-40℃)
精确度:-40~-60℃范围为±1℃;-61~-100℃范围为±2℃; -101~-120 范围为±4℃(估)
分辨率:-40~-79.9℃范围为01℃;-80~-100℃范围为1℃;-100~-120 范围为1~3℃
额定压力:Z低为10-9torr;Z高为24MPa
气流率:1~5 Nlmin-1
电子电路
电源:额定24VDC,10V min., 28V max ,25 mA max
输出:4~20mA可调,使用提供的界面软件调,调节范围1~80℃Z大负载=1k ? (28VDC 时),Z小负载=200?(10VDC 时)(50?/v)
出错状态显示:标准的出错误状况:23mA=变送器故障;20mA=超越测量
范围;4mA=小于测量范围。这些设置能通过提供的软件界面进行调节
机械结构
探头:冷拉不锈钢,内部0.1-0.2µm Ra镭电镀抛光
在线露点仪 半导体行业在线露点仪 高稳定性能在线露点仪
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