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产品详情
特性
• zui大位移68μm • 亚毫秒响应时间 • zui大承载5kg • 1~3维自由组合 • 重复定位精度可达0.05%F.S.
1~3维平移台
XP-63X系列压电纳米定位台可通过转接板连接， 组成XY，XZ，XYZ多种运动结构。
多种规格型号可选。
柔性铰链采用精密线切割技术。
产品外观
直驱机构式驱动示意图
小体积、高精度、响应速度快 XP-63X系列压电纳米定位台其*的结构设计，具有大机械刚度、大承载、更高的空载谐振频率等特点。负载情况下也具有很高的使用频率，响应时间可 以实现亚毫秒级。例如XP-630带动20g负载，响应时间仅为5ms。 XP-63X系列产品体积小巧，XP-630一维尺寸仅为60×45×18mm，易于与其他平台设备集成。
闭环版本配置应变传感器，可实时检测位置信号并反馈给闭环控制器，控制器通过PID算法对检测到的位置信号进行修正，从而实现纳米级的精密定位。 传感器类型
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