产品详情
自动光谱椭偏仪SE-L型概述:
是一款科研级全自动高精度光谱椭偏仪,集众多颐光 科技技术于一体,采用行业前沿创新技术,配置全自动测量 模块。通过椭偏参数、 透射/反射率等参数的测量,快速实现光 学参数薄膜和纳米结构的表征分析。 ——————————————————————————
产品特点:
产品应用: SE-L 型光谱椭偏仪广泛应用于镀膜工艺控制、tooling校正等测量应用, 实现光学薄膜、纳米结构的光学常数和几何特征尺寸快速的表征分析: 1、 半导体:半导体薄膜结构(如:介电薄膜、金属薄膜、高分子、光刻胶、硅、PZT膜,激光二极管GaN和AlGaN、透明的电子器件等),半导体周期性纳米结构(如纳米光栅,套刻误差,T型相变存储器等); 2、 平板显示:TFT、OLED、等离子显示板、柔性显示板等; 3、 光伏太阳能:光伏材料(如Si3N4、Sb2Se3、Sb2S3、CdS等)反射率,消光系数测量,膜层厚度及表面粗糙度测量等; 4、 生物和化学工程:有机薄膜、LB膜、SAM膜、蛋白子分子层、薄膜吸附、表面改性处理等。 5、 块状材料分析:固体(金属、半导体、介质等)或液体(纯净物或混合物)的折射率n和消光系数k表征,玻璃新品研发和质量控制等。 |