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数字式质量流量控制器SEC-N100 系列
数字式质量流量控制器SEC-N100 系列在这些制造工艺中，对各种气体的流量进行准确的测量和控制显著地提高了工作效率，进而节约了能源和提高了生产力。HORIBA STEC致力于质量流量计的发展，为*的制造工艺，包括半导体、光电和LED的制造提供服务，并将继续开发新的产品来满足客户的需求。在这些制造工艺中，对各种气体的流量进行准确的测量和控制显著地提高了工作效率，进而节约了能源和提高了生产力。HORIBA STEC致力于质量流量计的发展，为*的制造工艺，包括半导体、光电和LED的制造提供服务，并将继续开发新的产品来满足客户的需求。
特征：高精度（设定点为基准）MFC的线性度将由近似多项式曲线进行补偿。这帮助实现了对所有流量控制范围的高精度控制。为了实际气体流量的准确性进一步提高，各种工艺气体的校准数据将按照HORIBA STEC标准的气体测量系统进行校验。
1秒高速响应搭载了开发的“可变PID系统”，对于所有设置点它可以实现1秒内的高响应速度。当您改变标定满量程和气体种类时，可变PID将根据当下的设定点不断变化，其PID参数也将随之被优化。
SEC-N102 系列:数字式信号传输，RS485 F-NET协议，模拟式信号传输，▶0～5VDC
SEC-N104 系列：DeviceNet 信号传输，遵照ODVA标准
SEC-N106 系列：PROFIBUS 信号传输，模拟式信号传输，▶0 至 5VDC, 0 至 10VDC 4 至 20mA
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