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UL1000符合做微电子工业市场的要求。其特点从坚固的金属外壳并带有适用于洁净室的轮子,还有I-CAL(智能化漏率计算系统),的 噪声抑制滤波,柔性均值算法和漂移抑制功能。用于消除在10-11至10-12超高灵敏漏率范围中长时间 平衡的程序。 | |||||||||||||||||||
系统软件包含带有故障查找指令的先进自诊断程序。并可调用防止氦气或工艺气体污染的保护性功能。UL1000的通风系统不会干扰通常清洁室中从天花板至地面的空气流动。涡轮分子泵的抽速和压缩比可降低并消除氦污染。 | |||||||||||||||||||
UL1000具有可转动的控制界面,装在仪器商的显示器用十分清楚的大型字体显示测量结果于状态信息,这样可远距离方便地观察读值。 | |||||||||||||||||||
应用: | |||||||||||||||||||
半导体工艺设备的维护,该设备本身带或未带有真空泵 | |||||||||||||||||||
工艺气体系统的检测与安装 | |||||||||||||||||||
元器件在组装前的漏率测试 | |||||||||||||||||||
要求高抽速、高灵敏度以及清洁测试条件的应用场合 | |||||||||||||||||||
技术参数 | |||||||||||||||||||
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手持气象仪器 自动雪厚监测站 地裂缝监测一体机 天气现象检测器 倾角加速度监测站 便携水深探测仪 微型水质自动监测站 高速公路自动气象站 九要素便携式气象站 综合电子气象仪 应急管理手持气象仪器 水深探测仪 便携式测深仪 便携式六要素自动气象站 便携式多要素气象站 便携式五要素气象站 移动应急自动气象站 观测自动应急气象站 管式土壤含水率监测站 地表裂缝监测站 GNSS地表自动位移监测站 翻斗式雨量监测站 公园生态环境监测系统 小型超声波气象站 便携式气象测定仪 农田病虫害监测系统 浮标水质监测设备 多参数水质在线监测仪 大坝安全监测站 鱼塘水质监测设备 河道水质监测设备 森林气象站 金属款气象传感器 过程校验仪 超声波雪深监测仪 一体化取水水质监测微系统 超声波一体式气象站 气象土壤墒情在线监测站 太阳能校园气象站 水温电导率ph在线分析仪 在线叶绿素分析仪 在线叶绿素水温分析仪 在线叶绿素监测仪 水质叶绿素在线分析仪 污泥浓度在线监测仪 污泥浓度在线分析仪 水库大坝渗流压力监测系统 全自动孢子捕捉仪 化工厂防爆型气象站 户外电能质量分析仪