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VOD-90-晶圆芯片450度真空充氮烘箱,10pa以下硅晶片真空高温烘箱

  • 产地
  • 所在地
  • 上海
  • 上海上海市

更新时间:2020-03-26

有效日期:已过期

产品详情

晶圆芯片450度真空充氮烘箱,10pa以下硅晶片真空高温烘箱

VOD-90

一、产品名称及型号:

 1.1产品名称:真空高温干燥箱  

 1.2产品型号:VOD-90

二、主要技术指标:

2.1 电源:AC380V 3φ 50HZ

2.2 规格尺寸,功率:

型号

工作尺寸(mm)

外形尺寸(mm)

功率

VOD-90

W450×D450×H450

W800×D800×H1715

12Kw

2.3 升温、降温速率要求:

大升温速率: ≥4 ℃/minute

小升温速率: 2 ℃/minute

小降温速率: 2 ℃/minute

大降温速率: ≥4 ℃/minute (400℃降至100℃,客户需配冷却塔)

常用温度: 350℃

高温度:450℃

三、箱体结构:

外壁材料: 冷扎碳钢板,经防锈处理后静电喷塑,耐划伤;                                  

内胆材料: 5mm厚,SUS304不锈钢,不锈钢内外表面抛光;                                                   

保温材料:厚度150毫米硅酸保温棉,保温性能良好;

门:真空密封紧迫;门缝自带高温保护.(高温状态下使用,为耗品,建议2-3个月更换一次)

四、真空度

真空泵: LEYBOLD真空泵.(客户可自行购真空泵,或者制定真空泵型号);

真空度: ≤10 pa;                                                        

五、加热系统:

   加热元件:四面辐射加热;                                               

六、电器系统:

  系统采用PLC控制,加热启停、冷却启停、真空泵启停、充氮气启停;                       

  温控输出:SSR输出,欧姆龙继电器,固态继电器                                                                

七、安全保护:

加热电流过流、

系统短路保护;

电压过压保护;

真空泵过负载、

缺相保护;

电炉超温报警等功能。

晶圆芯片450度真空充氮烘箱,10pa以下硅晶片真空高温烘箱


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上海旦顺实业有限公司

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商家概况

主营产品:
烘箱、烤箱、防潮箱、氮气柜
公司性质:
生产厂家

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