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热板烘培工艺充氮烘箱,可程式温控器,操作便捷!
SOG工艺流程:旋涂→热板烘培→退火。热板烘培一般分三种,目的是初步的把SOG里的溶剂蒸除开始让SOG里的si-o键进行键结,一般用三块热板,每块热板的温度分别为80度,150度,250度。
一、无氧化烘箱特点:
无氧化烘箱,在工作时,工作室内充满了惰性气体CO2,N2,防止材料在烘烤时被氧化。
二.产品技术参数
1.SOG工艺无氧化烘箱型号: QMO-350
2、SOG工艺无氧化烘箱主要技术指标:
2.1含氧量:< 50ppm,30ppm, 20ppm;
2.2温度范围: RT(室温)+60~ +300℃;
2.3温度均匀度:±1.5%;
2.4温度波动度:±0.5℃(空载)
2.5温控精度:±0.1℃;
2.6烘箱搁板为活动形式。
2.7工作尺寸:W700×H700×D700mm
外形尺寸:W1300×H1500×D900mm
2.8电源:380V 3φ 50HZ 7KW
3、SOG工艺无氧烘箱箱体结构:
3.1烘箱由箱体部分、电器控制柜部分、电加热及风道系统部分组装而成,结构合理,外观美观大方;
3.2全周氩焊,耐高温硅胶迫紧,SUS304#不锈钢电热产生器,防机台本身产生微尘;
3.3箱体材料:外箱采用 SS41# 中碳钢板经磷酸皮膜盐处理后两层防光面涂装烤漆,可防止微尘;
3.4内胆材料:采用进口SUS304#日制800番2mm厚之镜面不锈钢板,并经碱性苏打水清洁,去油污避免烘烤时产生 PARTICLE;
3.5中桶材料:采用进口SUS304#日制800番2mm厚之镜面不锈钢板,并经碱性苏打水清洁,去油污及氩焊密封加工(防污染)。
3.6 保温材料:硅酸铝棉;
4、SOG工艺无氧烘箱温控系统
4.1控制器采用8段微电脑温度控制器,具有PID控制参数自动整定功能。
4.2温度测量:采用特制锴装铂电阻;
热板烘培工艺充氮烘箱,可程式温控器,操作便捷!
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