产品详情
P2000i系列液体质量流量控制器被设计用于要求对小流量液体进行快速、精确控制的领域。其简单化系统集成使它具有紧凑的包装尺寸。*的热式测量系统提供精确的测量,同时液体温度上升小于5度。高级的控制回路和一个压电激励隔膜控制阀可提供对小流量液体 进行 快速、稳定的控制。 P2000i系列同时也包括有一个液体质量流量计,用于那些不需要进行流量控制的场合。
D2000i系列液体质量流量控制器被设计用于要求对液体快速、精确控制的半导体制造工艺。数字控制回路和一个压电激励隔膜控制阀可让响应时间小于1秒。洁净空间内的装配工艺和全金属密封结构确保(高纯度和泄漏完整性)。*的层流旁路和传感器部件提供精确的测量,同时液体温度仅上升5度,此外,D2000i的简单化系统集成使它具有紧凑的包装尺寸。
液体流量计和控制器技术参数
流量范围 : P2000i系列和D2000i系列液体流量控制器是以异丙醇(IPA)来标定的,在测量其它液体介质时需要乘以一个校正系数,具体请参考表一
响应时间 : P2000i系列 : 2s( 设定点的2%之内 )
D2000i系列:<1s( 流量的5%之内 )
精度和线性 :± 1%满量程(P2000i系列);±1%读数(D2000i系列)
重复性 : P2000i系列:<±0.2%满量程(任意连续温度下)
D2000i系列:<±0.2%读数
量程比: P2000i系列:50:1(2%-100%满量程)
D2000i系列:20:1(5%-100%满量程)
zui大操作温度 : 40℃(104℉)
zui大操作压力: 125PSIG
温度系数 :< 0.1%/℃
>设定点输入 /流量输出信号 : 0-5VDC/0-5VDC(输出流量信号时:需zui小2KΩ电阻)
供电电源 :﹢ 15VDC±10%(电流消耗<200mADC时)
泄露率 : 1х10 -9 atm.cc/s He
预热时间: 10分钟(P2000i系列);20分钟(D2000i系列)
电气连接 : 9针D型
入口 /出口过程连接 : 1/8″Male VCR或1/8″Swagelok
控制阀 :压电式常开
内置容积 :< 0.71ml(P2000i系列);<1ml (D2000i系列)
重 量 :≤ 0.68Kg
结构材质
主体: 316LSS
传感器组件 : 316LSS
阀构成部件 : 316LSS(D2000i系列);302SS和316LSS(P2000i系列)
“ O”型环:316LSS
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