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产品详情
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Stage Size | 200mm x 200mm8", 300mm x 300mm12", |
Measurement Range | 100Å~ 35㎛Depends on Film Type |
Spot size | 40㎛/20㎛, 4㎛option |
Measurement Speed | 1~2 sec./site |
Application Areas | All Capability of ST2000 & More Precision Measurement Intended for Wafer Measurement & OLED |
Option | Programmable Auto Z Stage Reference SampleK-MAC or KRISS or NIST CCD Camera Transmittance Module |
Focus | Coaxial CoarseFine Focus Controls |
Incident illumination | 12v 100W Halogen Lamp |
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