DH-MFM MFC-热式气体质量流量计
简介:热式气体质量流量计在芯片上,一个微热源及分别处于微热源上下游的温度传感器集成在采用MEMS的*工艺制作的镂空桥面上,采用这样的桥式方式制作有利于传感器,使动态响应时间大大提高。当传感器工作时,微热源与环境公司:金湖大华自动化仪表有限公司企
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