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4吋激光干涉仪

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  • 上海上海

更新时间:2024-05-09

有效日期:还剩55

产品详情

4吋激光干涉仪

激光干涉仪采用相移技术准确表征被测表面的三维形貌,测量精度高达 0.06um 甚至更高,广泛用于平面光学元件高精度检测。

应用

广泛用于平面光学元件高精度检测。

特点

1. 准确测量 100mm 口径以下的光学元件的透射波前、反射波前。
2. 测量精度和测量重复性能媲美美国 Zygo 和 4D 干涉仪。
3. 根据客户要求定制开发。

  • 技术指标


     项目

      型号

     测量方式

      菲索干涉原理

     移相方式

      波长移相或机械移相

     主机波长

      632.8nm  (可定制)

     主相机分辨率

      2048*2048

     测量口径

      4-inch(101.6mm)

     主相机调焦能力

      有

     主相机采集速度

      50Hz

     透射平面参考镜面形误差(PV)

      λ/10

     反射平面参考镜面形误差(PV)

      ≦ λ/10(可定制 λ/20)

     空腔精度(PV)

      ≦ λ/10,  λ=632.8nm

     面形误差测量重复性(RMS)

      ≦ 1nm  (2δ)

     测量高平行度光学元件透、反射波前

      支持

     标准配件

      计算机 、条纹监视及分析软件

     相干长度

      1.0m  (若被扩束,此参数会变长)

     工作温度要求

      22℃ ±1℃

     工作温度波动要求

      每小时变化小于 1℃

     工作湿度要求

      55%±10%RH

     隔震要求

      气浮平台,固有频率:1-2Hz

     工作电压

      AC 110-220V,50/60Hz



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主营产品:
真空检漏设备
公司性质:
其他

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