产品详情
激光干涉仪采用相移技术准确表征被测表面的三维形貌,测量精度高达 0.06um 甚至更高,广泛用于平面光学元件高精度检测。
广泛用于平面光学元件高精度检测。
1. 准确测量 100mm 口径以下的光学元件的透射波前、反射波前。
2. 测量精度和测量重复性能媲美美国 Zygo 和 4D 干涉仪。
3. 根据客户要求定制开发。
技术指标
项目 | 型号 |
测量方式 | 菲索干涉原理 |
移相方式 | 波长移相或机械移相 |
主机波长 | 632.8nm (可定制) |
主相机分辨率 | 2048*2048 |
测量口径 | 4-inch(101.6mm) |
主相机调焦能力 | 有 |
主相机采集速度 | 50Hz |
透射平面参考镜面形误差(PV) | λ/10 |
反射平面参考镜面形误差(PV) | ≦ λ/10(可定制 λ/20) |
空腔精度(PV) | ≦ λ/10, λ=632.8nm |
面形误差测量重复性(RMS) | ≦ 1nm (2δ) |
测量高平行度光学元件透、反射波前 | 支持 |
标准配件 | 计算机 、条纹监视及分析软件 |
相干长度 | 1.0m (若被扩束,此参数会变长) |
工作温度要求 | 22℃ ±1℃ |
工作温度波动要求 | 每小时变化小于 1℃ |
工作湿度要求 | 55%±10%RH |
隔震要求 | 气浮平台,固有频率:1-2Hz |
工作电压 | AC 110-220V,50/60Hz |
风向检测仪 雷达雨量水位监测站 雷达水位雨量监测系统 野外在线雷达雨量水位监测站 自动雷达水位雨量监测系统 水情监测系统 水文监测仪器设备 雷达 水文监测站 水雨情监测系统 雷达水位监测报警系统 泥水位监测站 风力发电监测系统 风速监测仪 风速监测系统 干湿球温差 卧式恒温振荡器 Labchipgx全自动电泳仪 AKF系列智能卡尔费休水分测定仪 蒸汽喷射式制冷机 轴承感应加热器 直流高压电缆 圆盘流量计 水平螺翼式水表 无线多点气体监测系统 振动计 湿热盐雾箱 固体图像传感器 真空截止阀 催化反应釜 中性盐雾试验 智能安防监控 内置光纤型测温仪 电池测试等温量热仪 电能质量监测仪 压力表校验台 远红外加热器 菲格瑞思智能压力变送器 三足式自动刮刀卸料离心机 热电偶热电阻自动检定装置 河流湖泊水利在线监控系统 9060型喷砂设备 HHT-3型HART手操器 鞋底耐折测试 水泥电动抗折机 微机控制超低温全自动冲击试验机 FLUKE OPV-WGA/PRO网络综合协议分析仪 油漆搅拌机 荧光磁粉探伤机OMS-3000 电源插头 智能型液压阀基础科学问题研究