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产品详情
氟作为专用热媒、控制循环装置加热温度
主要用途
●半导体制造装置的加热温度控制
●化学制品的生产系统加热温度控制
主要特点
氟作为专用热媒，控制高温度领域
氟作为热媒介专用设计，可在＋70℃～＋
无液漏之忧的泵，通过逆变器进行控制
使用了磁铁耦合型密封泵，无液体泄漏。
可短时间内降温
冷却线圈中一次冷却水在循环时，维修保养时可在短时间降低温度。
技术参数
| 型号 | TEX-25A |
| 使用温度范围 | +70℃～+200℃ |
| 温度调节精度 | PID控制、±2.0℃(*1) |
| 功率输出 | 2.5kW |
| 泵能力 | 流量：10L/min(0.2MPa、60Hz時) 功率输出：0.75kW |
| 升温／降温时间 | 升温時間(+70℃→+200℃)：約30分(冷却水OFF) 降温時間(+200℃→+70℃)：約25分(冷却水ON) 冷却水条件：約8L/min at +20℃(*2) |
| 安全器/安全功能 | 漏电断路器、高温、温度异常、防止空烧、液面上限、泵超负荷 |
| 输入/输出功能 | 远程信号输入、加热器ON/OFF输入、冷却水ON/OFF输入、温度监视器信号输出、安全器操作信号外部输出 |
| 适用热媒体(循环液) | GALDEN HT270 |
| 循环液罐容量 | 約3L(＋备用罐：約7L) |
| 配管连接口径(循環液出入口、一次冷却水出入口) | Rc1/2、Rc1/2 |
| 外形尺寸 | 405×692×811Hmm |
| 重量 | 約80kg |
| 电源 | 三相AC200V・50/60Hz・15A |
| 运转电流 | 12A |
(*2)装置单体无负荷情况下。
●本产品使用环境温度范围为+
●本机为大型、重量机器，运送、安装等费用需另付。
