KDB-1半导体涂层电阻率方块电阻测试仪薄膜方阻仪

KDB-1涂层/薄膜方块电阻测试仪

1、概述

随着新型电子薄膜、半导体薄膜和金属箔的不断发展，市场现有的四探针方阻测试仪所提供的测试条件，如量程、探针压力、曲率半径、测试电压及测试电流的调节范围已远远不能满足新型薄膜的测试要求。

KDB-1按照标准SEMI MF374-0307的要求，对不同厚度、不同材质的薄膜采用不同的探针压力及曲率半径，以保证探针接触样品表面时不会产生机械损伤，同时加载到样品上的电压和测试电流方面，实现了广量程调节，电流从最小的0.2μA可上调到1000mA，1、4探针加载到样品上的电压从最小8V可上调到80V；同时在探针与样品接触后才延时通电，保证不会因接触火花或过大的电流，过高的电压在电气上损伤薄膜。

2. 技术参数

（1）测量范围

方阻测量范围：1×10-5～2×106Ω/□，最小分辨率1×10-5Ω/□

电阻率测量范围：1×10-6～2×105Ω·cm，最小分辨率1×10-6Ω·cm或1×10-8Ω·cm

金属箔最小电阻率：1×10-8Ω·m，最小分辨率1×10-8Ω·m

（2） 测试电压

（1μA～10 mA档）12～80V连续可调

（100mA档） 8～36V连续可调

（1000mA档） 8～15V连续可调

（3） 恒流源

测量电流：DC 0.4μA～1000mA 七档连续可调

量程： 0.2μA～1μA、2μA～10μA、20μA～100μA、0.2mA～1mA、2mA～10mA、20mA～100mA、200mA～1000mA

（4）直流电压表

1μA～10mA档，测量范围：0～199.99mV，分辨率：10μV

100mA、1000mA档，测量范围：0～19.999mV，分辨率：1μV

（5） 供电电源

AC 220V±10%，50/60Hz，功率40W

（6） 使用环境

温度：23±2℃，相对湿度≤60%

（7）重量、体积

主机重量：9Kg，体积：495×445×153（单位mm，长×宽×高）

该仪器可选配KDY四探针测试系统连接计算机软件进行测量，测试结果更加准确、简便，测量数据自动保存，可进行导出excel等操作，便于保存数据

KDY四探针测试软件系统测量界面