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| 光伏电池飞秒激光工作站 SOLLAS |
SOLLAS是WOP专门为硅基太阳能电池行业开发的激光加工机床，配置有飞秒紫外激光器和纳秒红外激光器，具有多任务操作功能，用于工业和研究，产能3MW/a。 光伏电池激光加工优势： · 晶圆更薄 · 破损率更低 · 精密深度控制 · 飞秒激光冷加工 · 参数调整，促进生产开发 · 选择性刻蚀（根据不同材料控制能量传递） 产品特点： · 工业研究生产线产量2.5 MW/a · 飞秒紫外和纳秒红外激光源 · 机器视觉系统探测旋转和调整激光扫描区域 · 使用高性能扫描振镜精细激光束控制 · 5”和6”晶圆加工 · 生产模式下直观的触摸屏用户使用界面（SCA工程设计） · 研究模式下全功能软件（SCA工程设计） SOLLAS 执行4项工艺： · 选择性刻蚀SiNx/SiO2 · 后触点激光烧制 · 边缘绝缘处理 · 激光标刻 · 可行性测试后整合其他加工过程 应用举例：
晶圆加工
使用UV飞秒激光脉冲刻蚀单晶圆上SiNx |
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摘要:IMM-17AT是一款放大倍率为1
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摘要:IMM-20BD是一款放大倍率为5
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摘要:IMM-17AT是一款放大倍率为1
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摘要:IMM-20是一款放大倍率为100
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摘要:MM2030是一款放大倍率为50X
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