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仪表网供应网 实验仪器 清洗/消毒设备 等离子清洗器PECVD&RIE联合系统
更新时间:2024-03-20
有效日期:还剩40天
产品详情
矽碁还专为客户定制过性价比的PECVD与RIE联合系统,该联合系统采用统一的真空气路及电控系统,在实现多功能的前提下有效节省成本。
技术参数:
1 基片尺寸可定制;
2 氧化硅、氮化硅及多晶硅镀膜;
3 金属、电解质和III-V族材料刻蚀;
4 镀膜及刻蚀均匀性优于 ±5%;
联系我时,请说明是在仪表网上看到的,谢谢
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