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多工位磁控溅射镀膜机可同时放置多片基片,适应研发线或中试线的小批量生产。矽碁提供的可公转基片载台方便客户灵活调整各基片对应不同靶位。预装矽碁自主研发的工业级全自动控制系统,设备可按预设工艺流程进行自动生产。工艺重复性优于 ±3%,有效保证生产稳定性。
技术参数:
1 本底真空10-7 Torr;
2 多基片设计,数量、尺寸可定制;
3 基片台可公转、自转并加热:300℃/500℃/800℃;
4 最多可拓展6支磁控溅射靶枪,6个工位;
5 靶枪溅镀距离可调,可升级强磁靶;
6 防交叉污染遮板设计;
7 可配备样品预清洗功能;
8 可配备快速进样室;
9 可配备自动压力控制系统;
LOCA路可移动电源 高温高压式液位计 锯齿型高速分散机 lng船用大口径超低温液动截止阀 超声波手持应急气象站 普利赛斯 ATMLDF型分体式电磁流量计 6000kN材料试验机 奥特三目生物显微镜B204TR 卡箍式涡轮流量计 BUSSMANN熔断器 液化气分析仪 直流真空泵 PPMhtv型甲醛检测仪 氯气气体检测仪 气动胶管阀 隔膜抗震压力表 煤气换向阀 YB-150精密压力表 MilliporeElix纯水仪 ZSJRD-200A电子式热继电器校验台 Lab-Aid820核酸提取系统 HAST高度加速老化试验机 地下管道探测检漏仪 好凯德真空泵 卧式拉力机 薄壁件抛光机 JK系列耐磨热电阻 植物表型 基于光电式电流互感器的差动保护理论与实验研究 结晶器总成 油液污染度测试仪 TLHG-9905高压钳形漏电流表 扫频信号源 热保护开关 蒸气老化试验机 数据通信用ASM系列矩形连接器 制砖机液压站 工程宝HVT-2000 应急行业便携式气象仪 可程式恒温恒湿试验仪 真空校验仪 管线式高剪切乳化泵 QJNZ钢筋扭转试验机 二通内螺纹旋塞阀 螺纹式隔膜电接点压力表 饮用冷水水表和热水水表第1部分:计量要求和技术要求 管段式超声波热量表 万向坡度测量仪 手持危险液体探测仪