产品详情
磁控溅射是物理气相沉积技术(Physical Vapor Deposition, PVD)的一种。一般用于制备金属、半导体、绝缘体等薄膜材料,具有设备简单、易于控制、效率高,面积大等优点。
磁控溅射原理:通过在靶阴极表面引入磁场,利用磁场对带电粒子的约束来提高等离子体密度以增加溅射率。
技术参数:
1 本底真空:10-7Torr到10-9Torr;
2 单基片设计,尺寸可定制,常规尺寸2-6英寸;
3 基片可旋转并加热:300℃/500℃/800℃;
4 最多可拓展8支磁控溅射靶枪,可共溅射;
5 靶枪角度可调,溅镀距离可调,可升级强磁靶;
6 可选配多路气路;
7 防交叉污染隔板设计;
8 可配备离子束辅助沉积;
9 可配备样品预清洗功能;
10 可配备快速进样室;
11 可配备自动压力控制系统;
12 全自动操作系统;
LOCA路可移动电源 高温高压式液位计 锯齿型高速分散机 lng船用大口径超低温液动截止阀 超声波手持应急气象站 普利赛斯 ATMLDF型分体式电磁流量计 6000kN材料试验机 奥特三目生物显微镜B204TR 卡箍式涡轮流量计 BUSSMANN熔断器 液化气分析仪 直流真空泵 PPMhtv型甲醛检测仪 氯气气体检测仪 气动胶管阀 隔膜抗震压力表 煤气换向阀 YB-150精密压力表 MilliporeElix纯水仪 ZSJRD-200A电子式热继电器校验台 Lab-Aid820核酸提取系统 HAST高度加速老化试验机 地下管道探测检漏仪 好凯德真空泵 卧式拉力机 薄壁件抛光机 JK系列耐磨热电阻 植物表型 基于光电式电流互感器的差动保护理论与实验研究 结晶器总成 油液污染度测试仪 TLHG-9905高压钳形漏电流表 扫频信号源 热保护开关 蒸气老化试验机 数据通信用ASM系列矩形连接器 制砖机液压站 工程宝HVT-2000 应急行业便携式气象仪 可程式恒温恒湿试验仪 真空校验仪 管线式高剪切乳化泵 QJNZ钢筋扭转试验机 二通内螺纹旋塞阀 螺纹式隔膜电接点压力表 饮用冷水水表和热水水表第1部分:计量要求和技术要求 管段式超声波热量表 万向坡度测量仪 手持危险液体探测仪