研究所HRD-THERMAL热成像显微镜TM3日本进口

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热成像显微镜TM3

产品介绍

热成像显微镜TM3

用于测量薄膜和微区域的热流率

特征

热物理显微镜是一种测量热渗流率的设备，热渗流率是热物性值之一。

它是一种可以在点、线和平面上测量样品热物理性质的装置。

可以测量微米量级的热物理性质分布，这在传统的热物理性质测量设备中被认为是困难的。

这是一台能够对热物理特性进行非接触式高分辨率测量的设备。

检测光斑直径为3μm，可以高分辨率测量微小区域的热物理性质（点、线、面测量）。

由于可以通过改变深度范围进行测量，因此可以测量薄膜、多层膜和块状材料。

也可以测量基板上的样品。

这是一种使用激光束的非接触式测量。

可以检测薄膜下的裂纹、空隙和分层。

热物理显微镜测量原理（概要）

在样品上形成金属薄膜，并用加热激光定期加热。

金属的反射率具有根据表面温度而变化的特性（热反射法），因此通过捕捉与加热激光同轴照射的检测激光的反射强度变化来测量表面的相对温度变化。去做。

热量从金属薄膜传播到样品，导致表面温度响应出现相位滞后。该相位延迟随样品的热特性而变化。通过测量加热光和检测光之间的相位延迟获得热流率。

在试料上形成Mo薄限，用加热用激光对表面进行加热，从Mo薄海传送到试料上，试料表面的温度响应会产生相位延迟，该相位延迟会根据试料的热特性而变化。由于Mo的反射率具有随温度而变化的性质，因此通过捕捉照射到与施加激光相同接触的检测用激光的强度变化，测定表面的相好温度变化。通过这种测量方法，可以进行高分辨率的热浸率测量。（ServmoryFrectance法）可选位移可计算体积热容及传导率。