质量流量计HM1000东京计装TOKYOKEISO进口

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热式质量流量计TF-5000，TF-6000，防爆质量流量计EP-TF- 5000，EP-TC- 1000，质量流量计HM1000，HM5000

产品介绍

TF-5000/6000系列是气体的热式质量流量计，可以在不依赖于压力、温度等过程条件的情况下测量各种气体的质量流量。
该系列涵盖最小满量程 5 mL/min (nor)、满量程 500 L/min (nor) 和工作压力 32 MPa，以支持广泛的应用。

特征

大范围 　

凭借从 5 mL/min (nor) 到 500 L/min (nor) 的广泛产品范围和 32 MPa 的工作压力，它可用于从设备安装到过程控制的广泛应用。

高精准度 　

它以 ±1.0% FS 的高精度测量各种气体的质量流量。

高可靠性

多年积累的基于热学理论的流量计技术保证了可靠性和耐用性。

周边设备 　

配备 TM-2000 转换器，您可以轻松配置您的系统。

EP-TF-5300系列为气体用耐压防爆热式质量流量计。可以测量各种气体的质量流量，而不受压力和温度等过程条件的影响。
该系列涵盖最小满量程 5 mL/min (nor)、满量程 500 L/min (nor) 和工作压力 4.9 MPa，以支持广泛的应用。
高压 H-EP-TF-5300 系列可承受 14.7 MPa 的工作压力。
EP-TC-1000系列质量流量控制器是一种耐压防爆调节阀，与EP-TF-5300系列质量流量计配套使用作为流量计。控制压差宽达100L/min(nor)，工作压力2.9MPa，可高精度自动控制各种气体的质量流量。
高压用EP-TC-2000V 系列与 H-EP-TF-5300 系列组合使用。工作压力可达9.8MPa。

特征

防爆结构

质量流量计和质量流量控制器都与氢气气氛 1 级位置兼容。应用范围大大扩展。

高精度 ±1% FS

凭借精确的理论和多年的专业知识，准确测量气体质量流量。

流量范围广

它适用于从实验工厂到大规模流程的广泛应用。

与TM-1400/2000微型转换器单元组合，可轻松进行显示、集成和控制。

HM1000是一款气体质量流量计。有两种类型：低价型和通用型。

特征

流量范围广

支持最小 0 至 5 mL/min (nor) 和 0 至 20 L/min (nor) 的广泛范围

高精准度

±1.5% FS (通用型)

组合丰富，周边设备齐全

提供电源装置、数字指示器和设定装置（仅使用控制器）。易于安装和接线。

负担得起的经济价格

应用

一般工业用途

各种分析仪器

气体恒流控制

气体混合分流系统

HM5000是一款气体质量流量计。有通用型和高性能型两种，可根据用途和目的选择。

特征

流量范围广

最小 0.5mL/min(nor) 和 0.400L/min(nor) 的广泛范围

高精准度

±1%FS（高性能型）

通过混合IC提高可靠性和小型化

功能可以通过选项升级

软启动功能（仅限常闭型）
输出信号1.5VDC

应用

一般工业过程

各种化学分析

半导体制造工艺

气体恒流量控制、混合控制

设备内置