产品详情
NPC-4000(A)全自动等离子去胶机(刻蚀机)概述:NANO-MASTER 等离子刻蚀和清洗系统是专门设计用来满足晶圆批处理或者单晶片处理的广泛应用,从晶圆的光刻胶剥离到表面改性都涉及到。该系列的设备采用PC控制,可以配套不同的等离子源,加热或不加热基片夹具,具有*的能力:可以从PE等离子刻蚀切换到RIE刻蚀模式,也就是说可以支持各向同性和各向异性的各种应用。
NPC-4000(A)全自动等离子去胶机(刻蚀机)产品特点:
紧凑型立式系统
自动上下载片
带Load Lock
不锈钢、铝制腔体或钟罩式耐热玻璃腔
兼容100级超净间使用
淋浴头、ICP或微波等离子源
旋转样品台
RF偏压可PID控制加热到300 °C或冷却的样品台
全自动或手动RF调谐
z多可支持8个MFC带电抛光的气体管路
PC计算机控制的气动阀
带密码保护的多级访问控制
基于LabView软件的PC计算机全自动控制
机械泵的压力可达到10mTorr
250 l/s的涡轮分子泵
极限真空为5x10-7Torr
完整的安全联锁
应用:
有机物以及无机物的残留物去除
光刻胶剥离或灰化
去残胶以及内腐蚀(深腐蚀)应用
清洗微电子元件,电路板上的钻孔或铜线框架
提高黏附性,消除键合问题
塑料的表面改型:O2处理以改进涂覆性能
产生亲水或疏水表面
双光数显测汞仪 THG型无线水位控制器 高纯减压阀 DY-25C 废气分析仪 氨气泄漏检测仪 PTC暖风机 磁粉探伤 耐电压测试仪 四点弯曲疲劳试验机 碳硫化验仪器 370减压器 传感器原理及应用(第2版)(双色) 音叉料位开关 荧光差异显示双向凝胶电泳仪 土壤墒情自动采集站 测量继电器 矿区塌陷位移监测站 北京中仪光科 哈克微量流变仪 水硬度在线分析仪 热处理炉 PMC-51M 光电精密测径仪 钳形接地电阻表 C8051F340 MA-TER 叶面积 甲苯有毒气体报警器 泥水界面仪 高低压继电器 电子超低温干燥箱 通用松装密度测定仪 多用途电泳仪DYCZ-21 ZMO-64气动球阀 ANTEC EA 430W 调频类型的巨磁阻抗效应电流互感器 FLIR I3红外热像仪 在线分析仪表 P40.2型压力校验仪 温度数据记录仪 微型直流真空泵 热天平 内窥视镜 电路实验教程 B-LINK光纤路由器 镀层厚度测试仪 OU3100型 OU1100表面粗糙度检测仪 格兰仕KWS13E18X-F10 开封孔板流量计