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NPE-4000(A)全自动PECVD等离子体化学气相沉积系统概述:NANO-MASTER PECVD系统能够沉积高质量的SiO2, Si3N4, 或DLC薄膜到z大可达6” 直径的基片上.该系统采用淋浴头电极或中空阴极射频等离子源来产生等离子,具有分形气流分布的优势.样品台可以通过RF或脉冲DC产生偏压。并可以支持加热和循环冷却水的冷却.使用250l/sec涡轮分子泵及3.5 cfm的机械泵,腔体可以达到低至10-7 torr的真空。标准配置包含1路惰性气体、3路活性气体管路和4个MFC.带有*气体分布系统的平面中空阴极等离子源使得系统可以满足广大范围的要求,无论是等离子强度、均匀度,还是要分别激活某些活性组份,这样系统可以覆盖z广的可能性来获得各种沉积参数。
NPE-4000(A)全自动PECVD等离子体化学气相沉积系统应用:
等离子诱导表面改性:就是通常所说的用等离子实现表面改性(如亲水性、疏水性等)
等离子清洗:去除有机污染物
等离子聚合:对材料表面产生聚合反应
沉积二氧化硅、氮化硅、DLC(类金刚石),以及其它薄膜
CNT(碳纳米管)和石墨烯的选择性生长:在需要的位置生长CNT或石墨烯。
特点:
立式系统
自动上下载片,带预真空锁
不锈钢或铝制腔体
极限真空可达10-7Torr
RF淋浴头,HCD或微波等离子源
高达6”(150mm)直径的样品台
RF射频偏压样品台
水冷样品台
可加热到的800 °C样品台
加热的气体管路
加热的液体传送单元
抗腐蚀的涡轮分子泵组
z大可支持到8MFC
基于LabView软件的PC计算机全自动控制
菜单驱动,4级密码访问保护
完整的安全联锁
LOCA路可移动电源 高温高压式液位计 锯齿型高速分散机 lng船用大口径超低温液动截止阀 超声波手持应急气象站 普利赛斯 ATMLDF型分体式电磁流量计 6000kN材料试验机 奥特三目生物显微镜B204TR 卡箍式涡轮流量计 BUSSMANN熔断器 液化气分析仪 直流真空泵 PPMhtv型甲醛检测仪 氯气气体检测仪 气动胶管阀 隔膜抗震压力表 煤气换向阀 YB-150精密压力表 MilliporeElix纯水仪 ZSJRD-200A电子式热继电器校验台 Lab-Aid820核酸提取系统 HAST高度加速老化试验机 地下管道探测检漏仪 好凯德真空泵 卧式拉力机 薄壁件抛光机 JK系列耐磨热电阻 植物表型 基于光电式电流互感器的差动保护理论与实验研究 结晶器总成 油液污染度测试仪 TLHG-9905高压钳形漏电流表 扫频信号源 热保护开关 蒸气老化试验机 数据通信用ASM系列矩形连接器 制砖机液压站 工程宝HVT-2000 应急行业便携式气象仪 可程式恒温恒湿试验仪 真空校验仪 管线式高剪切乳化泵 QJNZ钢筋扭转试验机 二通内螺纹旋塞阀 螺纹式隔膜电接点压力表 饮用冷水水表和热水水表第1部分:计量要求和技术要求 管段式超声波热量表 万向坡度测量仪 手持危险液体探测仪