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产品详情

七星华创质量流量控制器流量计

特点

　　• 橡胶密封、模拟电路的MFC

　　• 管状分流，使用寿命长D07-7是热式质量流量计，质量流量控制器可以应用到对各种气体进行测量和控制，除测量外还可以精密控制气体的质量流量，质量流量计（MFM）可以精密测量气体的质量流量。D07-7产品是七星流量计基础款产品，能满足客户流量测控基本需求。

七星华创质量流量控制器流量计

技术参数

编号	项目	D07-7K 型	D07-7B 型	D07-7C 型	D07-7CM 型
1	流量规格	(20,30,50,100,200,300,500) SCCM ( 0~1,2,3,5,10) SLM	(0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM ( 0~1,2,3,5,10) SLM	( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM ( 0~1,2,3,5,10) SLM	( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM ( 0~1,2,3,5,10) SLM
2	准确度	±1 % F.S	±1.5 % F.S	±1.5 % F.S	±1.5 % F.S
3	线性	±1 % F.S	±1 % F.S	±1 % F.S	±1 % F.S
4	重复精度	±0.2 %F.S	±0.2 %F.S	±0.2 %F.S	±0.2 %F.S
5	响应时间	电特性: 10 sec; 气特性: ≤ 4 sec	电特性: 10 sec; 气特性: ≤ 4 sec	电特性: 10 sec; 气特性: ≤ 4 sec	10 sec
6	气压降	ˉ	ˉ	ˉ	<0.01 MPa
7	工作压差范围	(0.1 ~ 0.5) MPa	(0.1 ~ 0.5) MPa	(0.1 ~ 0.5) MPa	<0.01 MPa
8	温度系数	Zero:≤±0.1% F.S./℃; Span: ≤±0.2% F.S./℃;	ˉ	ˉ	ˉ
9	最大工作压力	1 MPa	1 MPa	1 MPa	1 MPa
10	耐压	3 MPa	3 MPa	3 MPa	3 MPa
11	工作环境温度	5 ℃ ~ 45 ℃	5 ℃ ~ 45 ℃	5 ℃ ~ 45 ℃	5 ℃ ~ 45 ℃
12	输入输出信号	0 V ~ +5.00 V (输入阻抗大于100K, 输出电流不大于3mA)	0 V ~ +5.00 V (输入阻抗大于100K, 输出电流不大于3mA)	0 V ~ +5.00 V (输入阻抗大于100K, 输出电流不大于3mA)	0 V ~ +5.00 V (输入阻抗大于100K, 输出电流不大于3mA)
13	电源	+15 V 50 mA; -15V 200 mA	+15 V 50 mA; -15V 200 mA	+15 V 50 mA; -15V 200 mA	+15 V 50 mA -15 V 50 mA
14	外形尺寸	见图4	见图4	见图4	见图5
15	重量	1.1 kg	1.1 kg	1.1 kg	0.92 kg

D07-7是热式质量流量计，质量流量控制器可以应用到对各种气体进行测量和控制，除测量外还可以精密控制气体的质量流量，质量流量计（MFM）可以精密测量气体的质量流量。D07-7产品是七星流量计基础款产品，能满足客户流量测控基本需求。D07-7是热式质量流量计，质量流量控制器可以应用到对各种气体进行测量和控制，除测量外还可以精密控制气体的质量流量，质量流量计（MFM）可以精密测量气体的质量流量。D07-7产品是七星流量计基础款产品，能满足客户流量测控基本需求。

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