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产品详情
日本科赋乐微小流量质量流量控制器
日本KOFLOC
3200系列质量流量控制器-微小流量
应用于多个OEM设备场合，尤其适合微小流量测量
适用于燃气低压力、泄漏测试的低流量、半导体等使用
±15VDC供电性能稳定，0-5V模拟信号更加通用
可定制0.02-1SCCM微小流量
日本科赋乐微小流量质量流量控制器
性能参数：
3200质量流量控制器
量程(N2) | 1SCCM-20SLPM、小0.02-1SCCM |
精度 | ±1.0%FS |
重复性 | ±0.2%FS |
响应时间 | 1秒以内 |
耐压 | 1.0Mpa |
进口大压力 | O.3Mpa |
动作压差 | 0.05-0.3Mpa |
泄漏率 | 1*10-8pa·m³/s以下 |
温度范围 | 5-45℃ |
湿度范围 | 10-90%RH(不能结露) |
材质 | 本体SUS316L |
密封圈NBR、PTFE、FKM等 | |
电气接口 | DB9 |
模拟信号 | 0-5V输入/输出 |
供电 | +15VDC(±5%)100mA；-15VDC(±5%)100mA； |
管路连接 | 标配1/4F9 |
选配1/8F9、1/4UJR、RC1/4 | |
重量 | 约1000g |
★使用注意
一：进气管道上建议安装上的过滤器、油水分离器使用，保证气体的干燥干净《湿度不超过90%(一定不能进水)、杂质粉尘不超过20微米》。
二：用肥皂水对管路进行泄漏检测时，只能将肥皂水喷洒在管路接头上，不能喷在仪表或电气插头上。
三：安装前，请将设备管路进行整体吹扫。
四：耐压1.0Mpa，进口大压力5公斤。
五：需要进行零点漂移清零的时候，确认进/出口没流量没压力下 再操作。
