RTS-4-四探针测试仪

 测量范围

 电阻率：0.0001～2000Ω.cm(可扩展)；  
 方块电阻：0.001～20000Ω/□(可扩展)； 
 电导率：0.0005～10000 s/cm； 
 电阻：0.0001～2000Ω.cm； 

可测晶片直径

 140mmX150mm(配S-2A型测试台)；
 200mmX200mm(配S-2B型测试台)；
 400mmX500mm(配S-2C型测试台)；

恒流源

 电流量程分为0.1mA、1mA、10mA、100mA四档，各档电流连续可调

数字电压表

 量程及表示形式：000.00～199.99mV；　　　　
 分辨力：10μV；
 输入阻抗：>1000MΩ；
 精度：±0.1% ；
 显示：四位半红色发光管数字显示；极性、超量程自动显示；

四探针探头基本指标

 间距：1±0.01mm；
 针间绝缘电阻：≥1000MΩ； 
 机械游移率：≤0.3%；
 探针：碳化钨或速钢Ф0.5mm；
 探针压力：5～16 牛顿(总力)；

四探针探头应用参数

 (见探头附带的合格证)

模拟电阻测量相对误差
( 按JJG508-87进行)

 0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω小于等于0.3%±1字

整机测量相对误差

(用硅标样片：0.01-180Ω.cm测试)≤±5%

整机测量标准不确定度

 ≤5%

测试模式

 可连接电脑测试也可不连接电脑测试

软件功能（选配）

软件可记录、保存、打印每一点的测试数据，并统计分析测试数据值、-ui小值、平均值、百分变化、平均百分变化、径向不均匀度、并将数据生成直方图，也可把测试数据输出到Excel中，对数据进行各种数据分析。软件还可选择自动测量功能，根据样品电阻大小自动选择适合电流量程档测试。

计算机通讯接口

并口，速并行采集数据，连接电脑使用时采集数据到电脑的时间只需要1.5秒

标准使用环境

 温度：23±2℃；
 相对湿度：≤65%；
 无频干扰；
 无强光直射；