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日本日立FT110XRF萤光镀层厚度测量仪通过自动定位功能，仅需把样品放置到样品台上，就可在数秒内对样品进行自动对焦。由此，无需进行以往的手动逐次对焦的操作，大大提高了样品测量的操作性。
近年来，随着检测零件的微小化，对微区的高精度测量的需求日益增多。FT-110实现微区下的高灵敏度，即使在微小准直器(0.1、0.2mm)下，也能够大幅度提高膜厚测量的精度。
同时，FT-110还配备有新开发的薄膜FP法软件，即使没有厚度标准物质也可进行多达5层10元素的多镀层和合金膜的测量，可对应更广泛的应用需求。
可从大250×200mm的样品整体图像测量位置，另有机仓开放式机种，可对600×600mm的大型印刷线路板进行测量日本日立FT110XRF萤光镀层厚度测量仪
低价位也是FT-110的特点，与以往机型相比，既提高了功能性又降低20%以上的价格。
膜厚仪作为可靠的品管工具，可针对半导体材料、电子元器件、汽车部件等的电镀、蒸镀等的金属薄膜和组成进行测量管理，可保证产品的功能及质量，降低成本。
特点：
·即放即测：无需人工对焦造成误差，测量结果更可靠；
·测试速度快：3秒自动对焦，10秒钟完成50nm级极薄镀层的测量；
·无标样测量：与以往的技术相比，薄膜FP软件得到进一步扩充，即使没有标准品也能精确测量；
·多镀层测量：多能够进行5层的多镀层样品测量；
·广域图像观察：能将样品图像放大5到7倍，并对测量部位精确定位；
·低成本：较以往机型价格降低了20%。
