产品详情

P66系列压电纳米定位台是一维X轴压电平移台，它以压电陶瓷为驱动源并采用直驱式驱动机构，是压电与柔性铰链相结合的纳米定位系统。可以通过叠加组合的方式组成二、三维压电纳米定位台，实现XYZ轴34μm的位移行程，可选择内置高精度传感器进行闭环纳米级精密定位控制。产品已广泛应用于干涉、显微、精密加工等领域。

开环与闭环版本可选

P66系列压电纳米定位台可以选择开环或闭环版本，闭环版本压电纳米定位台内部配有高分辨率及快速响应的应变传感器（SGS），配备在驱动机构的合适位置，它可向控制器反馈高带宽、高精度的电压信号。

传感器使用全桥配置以消除热漂移，使得该系列纳米定位台可以实现满行程0.05%的线性度与重复度。

应用实例：原子力探针扫描显微镜

芯明天P66.XY压电纳米定位台以其高响应频率、高精度、高可靠性等优势广泛应用于原子力探针扫描显微镜中。

P66系列压电纳米定位台特点：

zui大位34μm• 开环闭环可选 • zui大承载5kg• 重复定位精，可达纳米级• 亚毫秒响应时间

P66系列压电纳米定位台典型应用
• 干涉/ 扫描   • 计量
• 质量保证测试   • 微加工/精密控制
• 光盘驱动测试   • 半导体技术

P66系列压电纳米定位台技术参数：

	尾缀S-闭环尾缀K-开环	P66.X30S P66.X30K	P66.XY30S P66.XY30K	P66.XYZ30S P66.XYZ30K	单位
运动自由度		X	X、Y	X、Y、Z
标称行程范围（0~120V）		24	24/轴	24/轴	μm±20%
zui大行程范围（-20~150V）		34	34/轴	34/轴	μm±20%
传感器类型		SGS/-	SGS/-	SGS/-
闭/开环分辨率		1.5/0.7	1.5/0.7	1.5/0.7	nm
闭环线性度		0.05/-	0.05/-	0.1/-	%F.S.
闭环重复定位精度		0.05/-	0.05/-	0.05/-	%F.S.
俯仰/偏航/滚动		<15	<15	<15	µrad
推/拉力		150/15	120/15	80/15	N
运动方向刚度		5	X4/Y4.2	X2.8/Y3/Z3.2	N/μm±20%
空载谐振频率		2.6	X1.1/Y1.8	X1.2/Y0.8/Z0.5	kHz±20%
闭/开环空载阶跃时间		5/0.8	5/0.8	10/0.8	ms±20%
闭环空载工作频率	10%行程	500	260	150	Hz±20%
闭环空载工作频率	行程	50	25	15	Hz±20%
zui大承载		5	4.5	3.5	kg
静电容量		3.6	3.6/轴	3.6/轴	μF±20%
材质		铝	铝	铝
重量		120	260	500	g±5%